ATHENA是Forge Nano公司最新的原子层沉积(ALD)工具，主要用于涂层3D和高表面积物体。ATHENA是最通用的、经济的、用户友好的商用ALD对象研究工具。
Forge Nano的ATHENA已经被设计用于:
- 研究和开发——为不同的研究项目在许多对象上进行多种化学研究
- 物体涂层-特别是3D和高渗透性物体
- 低粒子环境-洁净罩集成选项，方便粒子敏感应用
- 空气敏感材料-可选的手套箱集成，使惰性处理材料欧洲杯足球竞彩
ATHENA的创新设计提供了研究项目需要的可靠性和通用性。该工具有能力均匀涂覆不同大小和形状的物体，以及内部的毛孔。用户可以在任何时间内获得结果。
Forge Nano的定制工具允许用户在同一时间涂覆许多对象，通过复用基材最大化系统空间和减少涂覆时间。
技术规格
雅典娜系列系统均配备:
- 符合人体工程学的门，方便访问歧管组件，前兆瓶，加热，和其他组件
- 自动加药系统，减少化学废物和最终的均匀性
- 用户友好，基于食谱的控制软件，快速执行实验
可选的手套箱集成
Forge Nano与MBRAUN合作，提供最新的空气敏感ALD技术。Forge Nano的集成手套箱系统使用户可以在没有CO的情况下工作2阿,2，和水分，让他们更专注于创造新的材料。欧洲杯足球竞彩