来自Quorum技术的Q300T T Plus是一个大室，涡轮泵涂层系统，最适合溅射一个大直径的样品测量高达8″/200毫米或多个较小的样品跨越类似的直径。
Q300T T Plus适用于薄膜应用和SEM/FE-SEM。配备三个溅射头，保证单个大试样或多个小试样均匀沉积。
三重溅射头，自动关闭快门。图片来源:Quorum Technologies。
注意:必须注意的是，从每个溅射头连续溅射三种不同的溅射金属是不可行的——对于连续涂层，必须使用Q300T D Plus。
关键特性
- 16gb内存可以存储超过1000个食谱
- 终极真空5 x 10−5可以达到Mbar或更少
- 新的多色LED视觉状态指示灯
- 新的触摸和滑动电容屏幕
- 可以在一台机器上配置多用途配置文件
- USB接口，用于升级和下载进程日志文件
- 新的软件根据用户最近的使用情况对食谱进行分类
- 可互换的阶段选择
Q300T T Plus的推荐应用
这些产品仅供研究使用。