阿莱姆尼斯引入了一个低温模块(LTM-CRYO),可以改装到Alemnis标准汇编(ASA)。
虽然在大气条件下使用该模块是可能的,但冷凝可能会出现在样品的表面。因此,理想的操作应该在真空中进行(例如,在扫描电镜中)。针尖和试样分别加热和冷却。
的LTM-CRYO包括:
- 3个热传感器(分辨率小于0.1°C)
- 单压头支架冷却能力下降到120 K(−150°C)(真空)
- 单样品架,冷却能力低至120 K(−150°C)(真空)
- 液氮用铜冷却块
- 冷却编织,管和板,包括给管道的供给
- 冷却控制,电子,连接器和电缆
- 低温控制软件(两个单独的温度控制回路,一个压头,一个样品)
- 温度和功率传感器的SEM馈通