低温模块(LTM-CRYO)的机械性能下降到-150°C

阿莱姆尼斯引入了一个低温模块(LTM-CRYO),可以改装到Alemnis标准汇编(ASA)。

虽然在大气条件下使用该模块是可能的,但冷凝可能会出现在样品的表面。因此,理想的操作应该在真空中进行(例如,在扫描电镜中)。针尖和试样分别加热和冷却。

LTM-CRYO包括:

  • 3个热传感器(分辨率小于0.1°C)
  • 单压头支架冷却能力下降到120 K(−150°C)(真空)
  • 单样品架,冷却能力低至120 K(−150°C)(真空)
  • 液氮用铜冷却块
  • 冷却编织,管和板,包括给管道的供给
  • 冷却控制,电子,连接器和电缆
  • 低温控制软件(两个单独的温度控制回路,一个压头,一个样品)
  • 温度和功率传感器的SEM馈通

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