半ilab公司引进了一种新的原位椭偏光谱仪inSE-1000。该工具可在真空室(如ALD室)中进行层沉积或蚀刻过程时，通过椭偏光谱分析快速获取光学特性和层厚度。它也可以安装在负荷锁，冷却和传递室，以便在不破坏真空的情况下进行后处理检查。
inSE-1000是Semilab椭偏仪工具系列的一部分，专门用于在负载锁中进行沉积或处理过程时对真空室进行测量。
椭偏仪的臂也可以很容易地安装和定位在离线测试台上或真空室，以深入研究最终产品。辅助系统和电子元件位于一个机柜中，可放置在沉积工具旁边。以太网接口支持双向通信协议和沉积工具的按需测量序列。
特性和系统规格
- 光纤提供75w短弧氙灯
- CF-40真空接口
- 紧凑的武器
- 光束发散度小于0.2°(平行光束无聚焦)
- 旋转补偿器光学
- 快速模式的光谱分辨率
软件
- 使用所有已建立的方法，如各向异性层评价，相节点模型，周期层，合金模型，色散定律，或用户指定的自由公式，对每一层进行建模
- 直接可视化测量数据和拟合结果-光学和厚度特性
- 最大的(k, n)数据库
- 基于以太网的与沉积工具计算机的通信协议
Picosun ALD上的InSE 1000
ALD上的InSE 1000
非原位的长椅上