菲索干涉仪可以被描述为一个激光干涉仪配置通常用于量化的传输质量和表面形状光学和optical-grade表面。
斐索干涉激光干涉仪中的一个分束器将光束激光源。“参考光束”是引导向一个高质量的表面,在“测试梁”引导向测试表面或通过一个测试光学镜高质量的回归。重要的是,两束使用相同的光学和反射返回光束抵消错误在出站的道路。
图片来源:4 d技术。
菲佐干涉仪测量表面高度或传播的波前误差
后通过分束器时,两个反射光束重组传感器(相机)。重组后,反射的光束产生干涉图样。这个干涉图样是由变化引起的相位测试之间的差异引起的表面和表面“完美”引用。这个干涉图样是由传感器记录作为一个单独的测量框架。
图片来源:4 d技术。
通过集成许多帧数据,用户可以量化测试表面上的所有点的高度,或测量波前的变化引起的光束通过光学旅行。多个帧可以在许多不同的方式获得。
时间移相菲索干涉仪
参考“移相”菲索干涉仪转移中准确的增量对应测试表面。这样的增量是几十到几百纳米,即源波长的分数。每一增量移动后,仪器实现框架的数据。整个序列的测量框架随后被用来确定波前误差或表面的高度。
图片来源:4 d技术。
移相干涉仪受限于振动和动荡
在移相干涉仪,时间流逝而获取测量数据,这代表了一定的挑战。虽然时间很短(成百上千的毫秒),它是足够长的空气扰动和破坏或降低测量的振动。
解决设置,时间移相系统应分开动荡和振动。这通常是通过把系统从生产地板专业计量实验室,和利用重型振动隔离表。但这些措施不仅是昂贵的,而且也需要有价值的生产空间。
一个动态菲索干涉仪克服振动和动荡
所有在动态菲索干涉仪实现移相空间,而不是随着时间的推移。当一个元素介绍在摄像机前,数据分为四个阶段,由传感器可以同时成像。
时间很短的收购意味着动荡和振动实际上被冻结,创建特殊测量尽管动荡或振动。
4 d技术是第一个发展动态干涉法®。micropolarizer传感器阵列的4 d动态菲佐干涉仪空间编码四相移的抓图0°、90°、180°和270°——允许单帧,定量测量阶段。
图片来源:4 d技术。
动态菲佐干涉仪测量在具有挑战性的环境中
动态菲佐干涉仪能够测量没有隔振在嘈杂的环境中。动态菲索干涉仪进行更精确的测量振动的存在,当一个数据帧的平均数量。
自vibration-immune斐索干涉仪器可以没有隔离,他们测量有效地在生产层设置。他们可以用于无尘室,嘈杂的空气处理程序和泵使颞移相的测量非常困难。
动态系统也可以利用内部压力室量化枚空间光学cryo-vacuum测试时,模拟环境空间。
图片来源:4 d技术。
4 d技术的一系列斐索干涉激光干涉仪
4 d技术的菲佐干涉仪不断引领行业创新和高性能。4 d技术发展动态干涉法、短相干源模型建立了量化成平行面的光学、领导与高分辨率计量领域量化aspheres和陡峭的斜坡,并开发出了大范围的坐骑为菲佐干涉仪及配件。
4 d菲索干涉仪有行业领先的分析软件,并可用波长范围从193纳米到10.6µm和孔径范围从33 - 800毫米。这些方面的4 d菲佐干涉仪优于其他系统在灵活性方面,价值,和长期的投资价值。
4 d斐索干涉激光干涉仪的产品
AccuFiz斐索干涉激光干涉仪
图片来源:4 d技术。
的AccuFiz斐索干涉激光干涉仪被证明、灵活和可负担得起的,可以适合在有限的实验室空间。他们提供高稳定的环境。
光阑从33 - 600毫米,波长从355纳米到1.064µm AccuFiz系统可用于许多不同的应用程序。
- AccuFiz红外(IR)激光菲佐干涉仪
- AccuFiz可见光和近红外光谱菲佐干涉仪
- AccuFiz表面隔离源菲佐干涉仪
- AccuFiz大光圈菲佐干涉仪
- AccuFiz高分辨率的菲佐干涉仪
FizCam Short-Coherence菲佐干涉仪
图片来源:4 d技术。
的FizCam Short-Coherence菲佐干涉仪量化两边平行,透明光学测量薄200µm,固体腔像校准器(激光棒),远程腔测试设置和多界面的表面光学系统。
- FizCam 12“光圈短相干菲佐干涉仪
- FizCam短相干菲佐干涉仪
- 菲索干涉仪光学、支架和配件