聚焦离子束扫描电子显微镜- Helios Hydra双束

Thermo Scientific公司的Helios 5 Hydra DualBeam(等离子体聚焦离子束扫描电子显微镜,PFIB-SEM)能够提供四种不同的离子作为主束。

这使得用户能够选择为他们的样品和用例提供最佳结果的离子,如透射电子显微镜(TEM)和扫描透射电子显微镜(STEM)样品制备和3D材料表征。欧洲杯足球竞彩

它是简单的用户之间切换氩气,氧气,氮气和氙气在短短10分钟内,而不牺牲性能。这种无与伦比的灵活性极大地扩展了PFIB的可能应用空间,并允许对离子-样本交互的研究来优化当前的用例。

Helios 5 Hydra DualBeam集成了新的和创造性的多离子物种等离子体FIB (PFIB)柱和单色化Thermo Scientific Elstar UC+ SEM柱,提供最新的聚焦离子和电子束性能。直观的软件,无与伦比的自动化水平和用户友好性,使观察和分析适当的地下体积。

材料科学的Helios 5 Hydra双束欧洲杯足球竞彩欧洲杯线上买球

高质量的样品制备对TEM或STEM成功进行高分辨率材料分析至关重要。它被认为是材料表征实验室中最困难和最费力的工作之一。欧洲杯足球竞彩

传统技术用于制作S/TEM所需的超薄样品速度很慢,可能需要数小时,甚至数天的高训练人员的努力。由于各种材料的范围和对网站特定信息的需求,这就更加复杂了。欧洲杯足球竞彩Plasma FIB与自动化和用户友好的专有和创新软件相结合,解决了许多这些困难。

例如,氙气等离子体FIB被认为是无镓样品制备的标准,这对含铝材料等敏感样品至关重要。欧洲杯足球竞彩

Helios 5 Hydra DualBeam的所有四种离子束之间的快速切换功能进一步满足了每个用户对各自材料的要求。欧洲杯足球竞彩这使用户能够确定完美的条件,使最高质量的样品可能。

Helios 5 Hydra生命科学双波束欧洲杯线上买球

通过集成高分辨率FIB-SEM断层扫描和高通量等离子体技术,Helios 5 Hydra DualBeam在生命科学领域开启了新的和未被发现的应用。欧洲杯线上买球由于其先进的电感耦合等离子体(ICP) FIB以及四种离子种类,用户可以利用每个样品的最佳离子束。

对于每个样品,无论制备方法或树脂类型,都达到了最高的表面质量。除了更高的铣削吞吐量和样品兼容性,新的软件套件简化了持久、高质量、无ga、大容量采集和3D数据分析。

对于生命科学研究,欧洲杯线上买球Helios Hydra DualBeam提供:

  • 可以在没有伪影的情况下进行铣削,不管样品制备方法是什么
  • 与Ga-FIB铣削相比,快速高效的铣削可获得10倍大的体积
  • 纳米厚的连续切片巨大的水平表面(直径达1毫米)与纺纱机
  • 一个适合多用户环境的解决方案,兼容广泛的样本和实验问题
  • 完全自动化的3D数据采集,集成自动切片和视图软件时,更高的吞吐量

小鼠海马器官型切片培养的三维重建。

小鼠海马器官型切片培养的三维重建。图片来源:渡边,约翰霍普金斯大学

关键特性

大型应用程序空间

特殊的离子源提供四种快速、可切换的离子种类:N、O、Ar和Xe,提供最大的应用空间。

高吞吐量和高质量

在新一代2.5 μA等离子体FIB柱的帮助下,可以进行高质量、高通量和统计合适的3D表征、横切和微加工。

先进的自动化

最快、最简单、自动化、多站点原位非原位借助可选的AutoTEM 5软件进行TEM样品制备和横切。

高质量的样品制备

在新的PFIB柱的帮助下,高质量的无镓TEM和APT样品制备可以用氙、氩气或氧气进行,允许500 V的最终抛光,并在所有操作条件下提供卓越的性能。

短时间内达到纳米尺度

使用FLASH和SmartAlign技术的用户,获得纳米级数据的时间最短。

完整的样品信息

最完整的样品数据可与锐利,抛光和免费对比实现使用多达六个组合柱内和透镜下探测器

电子和离子束诱导沉积和蚀刻

最新的能力提供电子和离子束诱导沉积和蚀刻双束系统与可选的热科学MultiChem或GIS气体输送系统。

精确的样品导航

由于150毫米压电工作台或可适应的110毫米工作台和可选的室内热科学导航摄像机的高稳定性和精度,定制的独立应用要求。

Artifact-Free成像

这一功能依赖于组合样本清洁度管理和专用成像模式,如DCFI和SmartScan模式

规范

来源:Thermo Fisher科学电子显微镜解决方案

Helios 5 Hydra CX双波束 Helios 5 Hydra UX双光束
电子束的决议
  • 在最佳WD:
    • 0.7 nm在1 kV
    • 1.0 nm at 500 V (ICD)
  • 在重合的点:
    • 0.6 nm在15 kV
    • 1.2 nm在1 kV
电子束参数空间
  • 电子束电流范围:0.8 pA至100 nA在所有加速电压下
  • 加速电压范围:350v - 30kv
  • 着陆能量范围:20* eV - 30 keV
  • 最大水平场宽度:在4mm WD时2.3 mm
离子光学

高性能PFIB柱,独特的电感耦合等离子体(ICP)源支持四种离子,具有快速切换能力

  • 离子种类(主离子束):Xe、Ar、O、N
  • 切换时间<10分钟,仅软件操作
  • 离子束电流范围:1.5 pA ~ 2.5µA
  • 加速电压范围:500V - 30kv
  • 最大水平场宽:光束重合点处0.9 mm

同步点氙离子束分辨率

  • <20 nm在30 kV使用首选统计方法
  • <10 nm, 30 kV,选择边缘法
  • E-和I-beam重合点在分析WD (4mm SEM)
  • 港口:21
  • 内宽:379毫米
  • 集成的等离子体清洁
探测器
  • Elstar柱透镜内SE/BSE检测器(TLD-SE, TLD-BSE)
  • Elstar柱中柱SE/BSE检测器(ICD)*
  • 埃弗哈特-索利SE探测器(ETD)
  • 红外相机,用于查看样品/柱
  • 用于次级离子(SI)和电子(SE)的高性能室内电子和离子探测器(ICE)
  • 内室导航摄像头样本导航摄像头*
  • 可伸缩的低电压,高对比度定向固态背向散射电子探测器(DBS)*
  • 积分束电流测量
阶段和示例

灵活的五轴电动舞台:

  • XY范围:110毫米
  • Z量程:65毫米
  • 旋转:360°(无限)
  • 倾斜范围:-38°到+90°
  • XY重复性:3 μm
  • 最大样品高度:离中心点的距离为85毫米
  • 0°倾斜时最大样品重量:5kg(包括样品支架)
  • 最大样品尺寸:110mm全旋转(在有限的旋转情况下,可以有更大的样品)
  • compcentric旋转和倾斜

高精度五轴电动工作台,采用压电驱动XYR轴

  • XY范围:150毫米
  • Z量程:10毫米
  • 旋转:360°(无限)
  • 倾斜范围:-38°到+60°
  • XY重复性:1 μm
  • 最大样品高度:距中心点间隙55毫米
  • 0°倾斜时最大样品重量:500 g(包括样品支架)
  • 最大样品尺寸:150毫米全旋转(在有限的旋转情况下可能有更大的样品)
  • compcentric旋转和倾斜

*可作为选项,依赖于配置

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