UHV设计的生产经过验证的Magidrive系列真空旋转馈通允许旋转在刚性高通量磁耦合的帮助下将其移位到真空系统中。Magidrive系列不包括任何动态密封件，流体或波纹管，从而提供泄密密封和可靠的UHV操作。
主要特征
- 单件式真空外壳确保无泄漏性能
- 磁耦合设计故障安全
- 没有滑块，有机物或波纹管
- 磁屏蔽可用于磁敏设置
- 高扭矩与尺寸比
- 可以烘烤到250°C（甚至磁铁）
- 空心变体能够堆积同心驱动器
- 低加速度和负载下的零间隙
实心轴选项
旋转馈通的固轴阵列提供了一系列正常轴选项，如产品配置选项中所述。用户可以根据需要使用定制轴。UHV设计提供一系列延伸的轴承壳体，以沿其旋转轴支撑轴。
空心轴选项
四大Magidrive旋转馈通以中空配置可用，终止于后部的非旋转CF法兰。这使得能够通过驱动器通过服务，或者替代地用于将额外的MADRIVE的装配到后部，从而提供次级旋转轴。
组合紧凑的空心旋转和线性驱动器
磁耦合旋转和轴向运动在一个也紧凑的单个装置中组合。基板支架用升力和使用下运动来实现样品传递的旋转是示例性应用。通过空心驱动技术，可以通过基板加热模块传递服务。