这个四探针自动电阻测试仪包括计算机、步进控制器和带有200或300毫米直径隔离卡盘的基站。
软件允许选择1、5、9、25或49个点进行自动测试和测试样本映射。定位模式可以设置为圆形或方形配置。
也可以定义边缘排除。在第一次测量时，软件自动调整仪表的量程，为样品测试找到最佳设置。双重配置可确保消除探头制造商引入的误差，提高测量的重复性和准确性。软件控制器自动步进到每个位置，并在可见表格中记录X-Y位置、片电阻、电阻率和V/I测量值。
特征：
- 报告平均电阻率、电阻率标准差、平均薄层电阻和薄层电阻标准差
- 电阻温度系数（TCR）测量与自动温度卡盘和源表（可选）集成。
- 自动二维和三维等高线绘图
- 采用双配置测试方法，以提高精度和重复性
- 对于10至300mm的样品
- 每个样本1到49个NIST可追踪自动测量值