来自Photonic Science的反向反射劳厄系统可以使实时晶体定向精度降低到0.1°。欧洲杯线上买球
多亏了PSEL软件,错位测量可以进行到0.05°。
多晶硅晶片的二维取向映射也可以进行。
该系统可用于进行高通量样品筛选和重负荷样品定位,最高可达20公斤的生产设置。
系统细节
通过在样品上提供0.3 m欧洲杯线上买球m以下的强x射线束,光子科学的反向反射劳厄系统使实时晶体定向精度降低到0.1度。单晶体的电光特性强烈地依赖于晶体取向。
lae工具从单晶中收集高分辨率的x射线衍射图案。从这种模式,可以选择最佳的晶体平面切割精度。
规范
表1。
水平 |
<200 μm光束尺寸 |
对于小晶体 |
机动阶段 |
允许沿生长轴扫描 |
电动测角 |
直接兼容同步加速器/中子设施设置 |
手动测角 |
与刀具直接兼容 |
表2。
垂直 |
<200 μm光束尺寸 |
工作与小晶粒多晶结构 |
大扫描线性级 |
允许自动晶圆或多个样品映射 |
机动Z阶段 |
允许与大棒/样品兼容 |
手动测角 |
允许种子方向下降到+/- 0.02度精度 |
配件
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具有最大亮度的x射线发生器
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劳厄x射线探测器
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手动或电动测角仪以及高精度工作台
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劳厄校准软件
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操纵杆或激光距离传感器
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摄像机用于查看或定位样品
劳厄图像对齐软件
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衍射斑点自动检测和斑点位置估计对参考晶体
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以CSV格式存储角度测量值,以便以后进行质量保证追溯
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根据测角仪和晶体轴自动评估方向偏差(不需要手动匹配变形模式)
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基于python的软件通过使用套接字命令实现对现有软件或系统的远程访问控制
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从上到下的最终用户菜单使非初始结晶学用户逐步验证取向程序
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