MDP铸锭-来自弗莱堡仪器的铸锭或晶圆映射系统

MDPingot工具系列具有强大的设计,可快速、灵活地绘制多晶硅砖和硅片。同时测量少数载流子寿命,光电导率,电阻率和样品平整度,所有地图在同一时间。安装这个工具是非常容易的,只需要电源。包括所有测量需要,包括工作站和数据库。样品加载可以手工完成,也可以由机器人系统完成。测量速度小于4分钟,对于一个156 × 156 × 400毫米的标准砖@ 1毫米分辨率。电阻率绘图选项具有长时间的稳定性,无需频繁重新校准。此外,还备有参考测量值的校准装置。由于掺杂类型的偏析和过补偿导致的传导型转换的空间分辨率测量可以首次以高空间分辨率进行研究。

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