NexION 5000半导体用多四极杆ICP质谱仪

PerkinElmer的NexION^®5000多四极杆ICP-MS系统是世界上第一个包含四个四极杆的ICP-MS系统。该系统采用了最先进的设计，满足并超越了生物监测、半导体和其他应用的痕量元素测试需求。

该系统提高了ICP-MS的性能，超过了高分辨率ICP-MS和传统的三重奏技术，提供了非常低的本底当量浓度(<1 ppt，即使在热等离子体中)和优良的检测限，这是保证可重复性和精确结果的关键。

NexION 5000 ICP-MS具有出色的干扰去除、无与伦比的基质容忍度、优异的稳定性以及出色的背景等效浓度(BECs)。

NexION 5000 ICP-MS配备了一系列新的专利技术，这些技术共同超过了传统的三四极管能力，重新定义了用户的期望。

• 四个四极:
  • 第一:四极离子偏转器(Q0)引导离子进入初始质量过滤器的入口
  • 第二:传输分析仪四极1 (Q1，全尺寸，质量分辨率<0.7 amu)用作质量过滤器或离子向导，将离子发送到四极通用电池
  • 第三:由动态带通调谐驱动的四极通用电池(Q2)避免了电池中残留气体的副反应
  • 第四:传输分析仪四极杆2 (Q3，全尺寸，质量分辨率<0.7 amu)作为质量过滤器或离子向导发送离子到探测器
• 扩展动态范围(EDR)将线性动态范围提高到10¹²，因此可以在一次分析运行中同时运行低浓度和高浓度的分析物，从而减少重复运行。
• 低维护确保更高的正常运行时间:
  • 三锥接口与正在申请专利的OmniRing™集成了四极离子偏转器，避免了锥体维护的需要，从而确保了更高的稳定性和持续运行
  • 34 MHz自由运行射频发生器提供简单的用户体验——等离子体由特殊的LumiCoil™射频负载线圈产生，风冷(避免了需要气体或水冷)，因此无需维护，从而避免了更换等离子体负载线圈的需要
• 外部状态照明提供了简单的分析状态的可见性，从而提高了效率
• Syngistix™ICP-MS软件(v. 3.0或更高)在高级用户界面中结合了三重四倍离子光学的能力和易于使用的工作流
• 可升级的可行性认证，以实现SEMI S2/S8(紧急按钮)，确保简单集成在洁净室设施

规范

来源:PerkinElmer