UHV设计LTD的多体XY机械手代表了研究的首选以及困难的生产环境。这可以归因于设备的真实UHV性能,准确的运动和鲁棒结构,使用户能够在任何方向上将其安装在一起。
多体设计具有一对平行的法兰 - 虽然一个法兰保持固定,但另一个均配有移动。
光滑,高质量的边缘焊接波纹管覆盖法兰,以适应所需的运动,确保全金属真空外壳。多种XY操纵器通过修改行驶法兰相对于固定系统安装法兰的位置来起作用。
可以使用选项添加编码器来电动多体序列范围。
主要特征
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高达+/- 40 mm x和y motion
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可以在任何方向上安装,而无需使用额外的支持
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坚固的高负荷建筑
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高精度运动驱动和引导系统 - 避免对易感跨辊载玻片的需求
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刚性停止限制行驶法兰,从而保护波纹管