FlowVIEW Tek的在线多通道液体颗粒测量系统完全保持了微颗粒的数据精度,优化地提高了工艺收率,并大大降低了与质量控制相关的成本。欧洲杯猜球平台
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可以根据定制的配方自动切换多个通道
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可实时监测微欧洲杯猜球平台粒子和纳米颗粒,并可连续流动(大小和体积)
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智能装配线与质量记录跟踪
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可修改调度和告警系统
应用程序
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在线监测水净化系统和晶片清洗过程-通过检查来自前端和后端流程的微粒子和纳米粒子计数来估计产量
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可以记录净化器的效率和计算滤芯的寿命-清洗室的废弃物和残渣的跟踪。滤芯更换计划可根据工艺的颗粒大小和污染程度进行修改。
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可应用于化学液体或去离子水有效地确保维护计划,如室清洗,消耗品更换等,以提高产量和清洁度
特性
FlowVIEW Tek非常清楚,化学液体和去离子水的纯度对晶圆清洗过程至关重要。客户可以寻求公司的帮助,以保持最准确的微粒子数据。
粒子计数程序。图片来源:FlowVIEW Tek
拥有精密多通道和先进的激光感应技术,FlowVIEW设计的多通道液体颗粒测量系统可以实现
半导体工业对湿法工艺的需求。
这种新技术可以整合到一台在线机器和许多采样点中。它可以每天24小时检测化学液体和去离子水,但不会对返回的实时数据造成任何破坏。
用户现在可以毫不费力地了解微粒子计数的变化,并有效地跟踪水质和处理水箱,最重要的是,大大提高了组件清洗程序的效率。
来源:FlowVIEW Tek
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测量范围 |
0.03µ。m ~ 50µm |
公差测量 |
重合误差5% |
校准 |
NIST-Traceable |
通信方式 |
RS485 / Modbus 4 ~ 20 mA |
欧洲杯足球竞彩外箱/管/取样接口材料 |
不锈钢/ PFA/石英 |
导致信号 |
检测到电源/错误/系统正常/问题 |
取样温度/压力 |
0-70°c / 150 psi |
尺寸/重量 |
50 (L) x 42 (W) x 104 (H) CM / 60 KG |