FlowVIEW Tek的在线多通道液体颗粒测量系统

FlowVIEW Tek的在线多通道液体颗粒测量系统完全保持了微颗粒的数据精度,优化地提高了工艺收率,并大大降低了与质量控制相关的成本。欧洲杯猜球平台

  • 可以根据定制的配方自动切换多个通道
  • 可实时监测微欧洲杯猜球平台粒子和纳米颗粒,并可连续流动(大小和体积)
  • 智能装配线与质量记录跟踪
  • 可修改调度和告警系统

应用程序

  • 在线监测水净化系统和晶片清洗过程-通过检查来自前端和后端流程的微粒子和纳米粒子计数来估计产量
  • 可以记录净化器的效率和计算滤芯的寿命-清洗室的废弃物和残渣的跟踪。滤芯更换计划可根据工艺的颗粒大小和污染程度进行修改。
  • 可应用于化学液体或去离子水有效地确保维护计划,如室清洗,消耗品更换等,以提高产量和清洁度

特性

FlowVIEW Tek非常清楚,化学液体和去离子水的纯度对晶圆清洗过程至关重要。客户可以寻求公司的帮助,以保持最准确的微粒子数据。

粒子计数程序。图片来源:FlowVIEW Tek

拥有精密多通道和先进的激光感应技术FlowVIEW设计的多通道液体颗粒测量系统可以实现 半导体工业对湿法工艺的需求。

这种新技术可以整合到一台在线机器和许多采样点中。它可以每天24小时检测化学液体和去离子水,但不会对返回的实时数据造成任何破坏。

用户现在可以毫不费力地了解微粒子计数的变化,并有效地跟踪水质和处理水箱,最重要的是,大大提高了组件清洗程序的效率。

来源:FlowVIEW Tek

测量范围 0.03µ。m ~ 50µm
公差测量 重合误差5%
校准 NIST-Traceable
通信方式 RS485 / Modbus 4 ~ 20 mA
欧洲杯足球竞彩外箱/管/取样接口材料 不锈钢/ PFA/石英
导致信号 检测到电源/错误/系统正常/问题
取样温度/压力 0-70°c / 150 psi
尺寸/重量 50 (L) x 42 (W) x 104 (H) CM / 60 KG

该供应商提供2020欧洲杯下注官网的其他设备