SEC的纳米聚焦x射线检测系统配备了200纳米分辨率的纳米聚焦管，专门用于半导体封装和晶圆级封装(WLP)，需要检测亚微米缺陷。
NF120(200纳米分辨率)x射线检测系统
该系统可以通过防振工作台精确移动轴来精确跟踪和检查损伤区域。
斜CT /锥形束CT可实现晶圆凸点自动检测。
特性
- 用于晶圆级封装的无损分析系统
- 高分辨率图像与双类型ct
- 应用处理器，RAM, PKG芯片，晶圆级
规范
来源:证券交易委员会
*选项:晶圆阶段，检测器更换/额外安装
**选项:EFEM安装的晶圆，AXI程序
图片来源:证券交易委员会