产生精确的水汽气体标准与水蒸汽气体标准发生器

envirics公司推出了一种名为“水蒸汽标准发生器”的新产品,该产品在该领域已经使用了超过25年。

该单位已设计生产可重复和精确的湿气标准,以用户的确切规格。

无源系统是标准配置。这些单元是根据用户应用程序所需的流量和浓度定制的。如果需要,该系统可以容纳多个渗透炉和多个质量流量控制器,使用户能够实现所需的完整范围。

单个MFC流量范围从10SCCM到20LPM是标准的,但也可以提供更高的流量。为了提高机组的功能,还可以将水蒸汽气体标准发生器添加到Environics S4040气体稀释或S4000气体混合系统中。重量和内存占用根据用户的需求而不同。

标准部件包括沿气路的压缩配件和弹性体密封。作为一种选择,气体路径的硅衬里也提供了减少吸收。在非常低的湿度标准的情况下,环境使用两种方法来改善单元建设。

首先,金属密封被采用,以避免进入环境湿度,可以影响输出时,弹性体密封使用。其次,电抛光气路接头是轨道焊接,以减少吸收和防止任何泄漏。

此外,所有的输入和输出都是VCR配件,以额外保证用户生成的标准的完整性。而不是,或除了,这些选项,底盘可以探测与干燥,惰性气体(通常是氮气)不断清洗。这种选择对于那些在他们的设施中有丰富的氮源的人来说是经济的。

该系统高度可靠,确保渗透烘箱温度在0.1°C内的稳定性和精度。温度范围从室温到150°C。

envirics的质量流量控制器技术确保稀释流量精确到设定值的+/−1%,将其设置在只精确到满刻度的类似设备之上。2020欧洲杯下注官网此外,单级稀释意味着用户的整个范围都能保持这种精度。和所有系统一样,这些单元是NIST可追踪的。

产生精确的水汽气体标准与水蒸汽气体标准发生器

图片来源:Environics Inc。

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