evtron公司的E50除污器是一款高性能、紧凑、流线型的等离子体清洁剂，适用于离子束和电子束仪器，如fib、tem和sem。
E50 de - polluinator可实现高功率清洁，提供卓越的成像和分辨率，并改善探头和探测器的灵敏度，通常受污染的影响。
该真空E50等离子体自由基源(PRS)具有紧凑的设计，使其成为一个多用途的解决方案，样品制备室，无论是FIB或SEM室，或负载锁。
在各种压力下，vactron E50 de - contamination提供快速、有效和强大的清洗，允许无伪影、高质量图像，以及提高样品分析效率。
系统功能
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节能射频空心阴极等离子体(RFHC)
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等离子体和紫外线余辉允许双重作用的清洁
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RF功率峰值为75 W，连续可达50 W
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有线触摸板编程或蓝牙Android平板电脑
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可编程电源，配方，循环次数和清洁时间
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高真空度的流行音乐的点火
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TMP兼容和没有提前排气是必需的
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外部联锁连接(选配)
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范围广泛的压力操作- 0.3 Pa/2 mTorr到80 Pa/600 mTorr
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PRS可以设置在负载锁定或扫描电镜室
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没有损坏敏感元件-没有溅射腐蚀
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允许快速清洗，比上一代vactron型号快100倍以上
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等离子点火不需要改变火柴或气体流量
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按钮式清洗操作
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符合NRTL, TUV, CE, SEMI标准
Evactron E50
与无线平板电脑编程集成，真空吸尘器E50等离子体除污染器已经被开发，以消除来自高真空室的碳氢化合物污染，如FIBs和sme。
紧凑的设计的抽真空E50等离子体除污染物容纳大多数型号的负荷锁和FIB和SEM室。E50还使用了紫外线余辉和空气等离子体来快速减少碳氢化合物污染。
E50系统规格
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硬件互锁
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蓝牙通讯包/Android平板电脑
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桌面控制器配备按钮操作
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提供100-240 VAC 50/ 60hz输入
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射频功率- 35至75 W，在13.56 MHz RFHC
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机箱尺寸-宽×高×深= 17.2″× 3.5″× 8.6″(44 × 8.9 × 22 cm)
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通过无铅认证
Evactron E50点
evtron E50 E-TC等离子体除污染器是专门为需要有线触摸板接口进行编程的设施开发的。
触摸板测量（134×112×69 mm）通过RS-232电缆连接到控制器。流线型的PRS具有小的占地面积，并使用UV余辉和空气等离子体来降低烃污染，从而提供即时结果。
E50 E-TC系统规格
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硬件互锁
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系列触摸板通信包
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桌面控制器配备按钮操作
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提供100-240 VAC 50/ 60hz输入
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射频功率- 35至75 W，在13.56 MHz RFHC
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机箱尺寸-宽×高×深:17.2″× 3.5″× 8.6″(44 × 8.9 × 22 cm)