等离子体去污染物交替气体配置：Evactron®E50

Evactron的E50污染物是高性能，紧凑且精简的等离子体清洁剂，用于离子和电子束仪器，如FIB，TEM和SEM。

Evactron E50等离子体泻源（PRS）具有紧凑的设计，使其成为负载锁，SEM / FIB腔室或样品制备室的多功能解决方案。它在广泛的压力范围内提供快速，有效和稳健的清洁，允许无伪影，高质量的图像和提高样品分析效率。

Evactron E50备用气体PRS - 一般实验室条件的精密滤波器（0.5-μm孔径）模型中有两种配置和超高纯度过滤器（3-NM孔径）模型，以满足半导体的严格需求扇区SEMI F38-0699指令。

在线过滤器避免从燃气馈电线中产生的颗粒的进入等离子体流。已验证的替代气体包括CDA，O₂，ar / o₂，ar / h₂，n_2，和H.₂/ N₂。出于安全原因，使用100％H.₂没有建议。

E50备用气体系统功能

• 节能射频空心阴极等离子体（RFHC）
• 用紫外线和血浆余辉进行双动清洗
• RF Power-75 W Peak，连续高达50 W
• 有线触摸板编程或蓝牙android平板电脑
• 可编程电源，食谱，周期数和清洁时间
• 高真空'流行'点火
• 不需要与TMP和高级通风兼容
• 外部互锁连接（可选）
• 广泛的压力操作-0.3 pa / 2 mtorr至80 pa / 600 mtorr
• 不会损坏敏感组件 - 没有溅射蚀刻
• 等离子体的气体包括CDA，O.2，ar / o2，ar / h2，n2，和H.2/ N2
• 允许快速清洁比上一代Evactron模型快100倍以上
• 可以在装载锁定或SEM室上设置PRS
• 等离子体点火需要匹配或气体流动变化
• 按钮清洁操作
• 符合RoHS，NRTL，TUV，CE和半标题

图片信用：Evactron E50（XEI Scientific）

配备无线平板电脑编程，开发了Evactron E50等离子体脱污染仪，以消除高真空室的烃类污染物，如FIB和SEM。Evactron E50的紧凑设计适合大部分FIB和SEM型号和装载锁。E50采用空气和替代气体等离子体，用UV余辉迅速减少碳氢化合物污染。

Evactron E50备用气体系统的规格

• 硬件互锁
• 桌面控制器配备了按钮操作
• 蓝牙通信包和Android平板电脑
• 提供100-240 VAC 50/60 Hz输入
• RF Power-35至75 W，13.56 MHz RFHC
• 底盘尺寸宽×高度×深度：17.2“×3.5”×8.6“（44×8.9×22厘米）
• rohs，nrtl，tuv，ce和semi兼容的

E50 E-TC替代气体系统

图片来源:抽空E50 E-TC (XEI Scientific)

该真空E50 E-TC等离子体除污染器是专门为需要有线触摸板编程接口的设施开发的。触摸板(134 × 112 × 69 mm)通过RS-232电缆与控制器相连。E50 E-TC具有与E50相同的特点，使用空气和交替气体等离子体与紫外线余辉减少碳氢化合物污染，从而提供快速的结果。

Evactron E50 E-TC系统的规格

• 系绳触控板通信包
• 带按钮操作的桌面控制器
• 硬件互锁
• 提供100-240 VAC 50/60 Hz输入
• RF Power-35至75 W，13.56 MHz RFHC
• 底盘尺寸宽×高度×深度：17.2“×3.5”×8.6“（44×8.9×22厘米）
• RoHS，NRTL，TUV，CE和SEMI兼容