EVACTRON的ES去污染者是专为TESCAN离子和电子束仪器而设计的高性能，紧凑，但精简的等离子体清洁剂，如FIB和SEM。
所述Evactron ES德脏物可以很容易地被清洁，提供更高的对比度成像和分辨率，并且还改善其以其它方式受污染探针和检测器的灵敏度。
所述Evactron ES等离子体原子团源具有紧凑的设计，使得它对于负载锁一个多功能溶液，FIB / SEM室中，或样品制备室。所述Evactron ES等离子体清洁器提供了在宽范围的压力的快速，有效和温和的清洁，从而允许无伪影的，高品质的图像，以及改进的样本分析的效率。
系统特色
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节能射频空心阴极等离子体
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借助等离子体和UV余辉双重作用的清洁
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RF电源10在13.56MHz至20W
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宽范围的压力操作-1乇至22毫托，或133 Pa至3 Pa的
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所述TESCAN GUI提供的可编程电源，清洗时间
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高真空“流行”点火
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确保快速清洗比上一代Evactron版本快了60倍
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与TMP兼容，不需要事先通风
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真空安全联锁和外部互锁连接（可选）
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按钮式清洗操作
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PRS可以设置在负载锁定或SEM室
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敏感元件不被损坏，因为没有溅射蚀刻
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匹配或气体流的修改不需要用于等离子体点火
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符合规定到NRTL，TUV，CE，SEMI和RoHS标准
该Evactron ES等离子去脏物专为OEM集成高真空，FIB，SEM等分析系统的开发。流线型Evactron等离子体原子团源（PRS）具有小的尺寸和用途空气等离子体余辉减少烃类污染物，提供快速和有效的结果。
Evactron ES系统的技术规格
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包括2U机架式控制器系统集成
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FIB / SEM主机定向控制
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紧凑型等离子体原子团源（PRS）
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硬件联锁（可选）
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报价100到240 VAC和50/60赫兹输入
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RF功率为10〜20W的以13.56MHz CCP
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符合规定到NRTL，TUV，CE，SEMI和RoHS标准