来自evatron的简易等离子软清洁(EPSC)®整合了Evactron®20EP远程等离子体除污器®SoftClean室，从而使一个用户友好的桌面等离子体清洁剂和室。
它可以用作样品储存系统，将样品保存在无污染的环境中。20EP等离子体利用室内空气作为源气体，产生活性氧自由基，有效地消除了来自支架、样品表面和样品支架的碳氢化合物污染。
EPSC系统配备了三个用于TEM样品棒的清洁端口，以及一个用于扫描电镜样品的顶部装载盖。清洗端口位于中心位置，因此可以对所有TEM棒进行均匀且同时的清洗。
可选专利Safar TEM侧装机(专利US 8,676 B2, 716)包括一个侧入槽和锁定机构，当TEM棒插入和移除时，避免了腔室阶段和样品棒之间的任何不希望的接触。
系统功能
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具有高效节能的空心阴极等离子体自由基源
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双作用清洁紫外线余辉和等离子体
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功率、清洗时间和循环次数可以编程
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腔室真空传感器和读出可用
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小的桌面控制器提供了清洁食谱的显示
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固定输入空气流量
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压力工作范围广:在0.75 Torr和22 mTorr或100 Pa和3 Pa之间
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清洗速度快，比上一代真空模型快60倍
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操作日志存储在内存中
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符合TUV, NRTL, SEMI和CE
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敏感元件无损坏-无溅射腐蚀
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等离子点火不需要气体流量调节或手动匹配
真空EPSC系统的规格
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真空20EP等离子吸尘器可与桌面控制器
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可容纳三个瞬变电磁法级棒
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可选Safar侧装载机，用于TEM棒和样品的安全装载(美国专利8,716,676 B2)
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kf40真空安装法兰
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用于氧自由基生产的环境空气
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100-240 VAC 50/ 60hz输入
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可提供真空安全联锁
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电子机箱:W × H × D: 17″× 3.4″× 6.7″(43 × 8.6 × 17 cm)
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射频功率:10到20 W 13.56 MHz
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SoftClean尺寸:D × H: 8.5″× 7.2″(21.6 × 18.3 cm)