TESCAN的纳米空间是一个用户友好的多用途系统，专门开发用于在超高真空（UHV）条件下工作。
纳米空间系统既可以配置为扫描电子显微镜（SEM），也可以配置为集成高性能聚焦离子束（FIB）和SEM的双束平台。
UHV仪器采用模块化设计，可根据终端用户的特殊要求和目标提供各种FIB和SEM柱。它还为需要最严格无污染环境的样品的表面分析和FIB纳米加工提供了最佳、完整和定制的解决方案。
纳米空间甚至可以安装一个超高压兼容的气体注入系统（GIS），用于选择性腐蚀和局部金属沉积。
现场连接第三方系统，如表面分析仪器和分子束外延集群，也可以通过超高压中间室。这种连接性扩展了纳米空间仪器的应用范围。
主要优点
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完全可定制的系统
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全特高压设计无污染环境
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用于进行高质量的表面分析
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精密样品控制
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高分辨率成像
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超高压连接可用
- 全自动仪器