在半导体应用中，铜大马士革工艺在互连线的制造中起着至关重要的作用。半导体行业面临的挑战是成本、产量的提高和规模化竞争。
为了保证高效和成功的生产，互连线的特征尺寸不断收缩，可靠和准确的在线测量至关重要。
的QUALI-LINE®PRIMÅ由ECI Technology提供的化学监测系统可用于半导体器件的精确电镀。该系统是专门为高产量制造环境开发的，具有最大的可靠性，最快的分析时间和最严格的控制。
quality - line PRIMÅ具有CVS电化学技术以及光谱和电位滴定技术，以找到无机和有机成分的浓度与最优的精度和准确度。
基于化学，quality - line PRIMÅ可以在30分钟的时间跨度内提供高达2%和3%的有机分析的重复性/准确性。对于需要快速酸和铜分析的特定应用，系统在每个周期7分钟内提供铜和酸分析结果。
关键特性
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一个浴健康监测器是否开发了专用模块用于浴槽老化，分析污染物和分解产品
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一个分析仪健康监测器在需要时提示维护
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一个标准自动生成器为精确校准和验证提供可重复和准确的标准，从而作为成本密集型预混合标准的替代
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该系统使用了可扩展的Cu ChemPacks库®ECI技术提供的应用程序
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内置的泄漏探测器监视系统，并在检测到泄漏时触发紧急关闭过程
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该系统能够监控多达四个电镀槽
关键好处
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按照严格的公差规范，确保成功沉积每层
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改进了复杂的通过填充和沟槽结构
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支持常规、超低浓度和高浓度的铜化学试剂;用户可以很容易地转换系统，以分析不同的铜化学
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低维护，精密制作的组件
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易于与最先进的电镀工具相结合
QUALI-LINE®化学监测系统已经在铜大马士革过程的分析和控制的行业前沿超过25年。专为铜设计的quality - line分析仪现在已进入第六代，并具有扩展功能。自1996年推出该系统以来，ECI已售出1000多台该系统。
根据用户需求进行配置
内阁使用符合FM4910标准的材料构建。欧洲杯足球竞彩该系统包括四个主要部分，其将电子器件从化学处理部分隔离。
图像信用：ECI技术
技术规格
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包括Nowpak.®试剂递送系统
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尺寸- 965 mm(38″)W x 2162 mm(85.1″)H x 610 mm(24″)D
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废气- 4″OD化学废气
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AC-180至245 VAC，50/60 Hz，15 A
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符合标准-CE，SEMI F-47，SEMI S2-S8，NFPA-79，KRWA
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数据通信-多种通信协议:以太网/RJ45端口，支持SECS/GEM、RS-232和TCP/IP与fab的主机