在高级节点处使用钨作为晶体管接触金属是由于差距和阻力性能的屏障。由于其能够填充具有相当较薄的屏障的小功能，钴（CO）在小尺寸下提供了内在的优异阻力。
ECI技术完全自动化的Quali-Line®CO互连的Quantå在线化学计量金属化方法包括CVS电化学技术与电位和光谱滴定方法组合，以找到无机和有机组分的浓度，最大程度的精度和精度。
Quali-Line Quant的总分析时间基于化学的22分钟，具有2％和2％的CO和硼酸的标准精度和RSD规范。
该系统可以确保pH精度和0.01值的RSD，并提供较窄的过程窗口<0.01 pH。标准电导率精度和RSD分别为3％和2％。对于有机添加剂，精度和RSD的典型规格为3.5％和2％。
主要特征
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一个分析仪健康监视器在需要时通知需要维护
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一个自动标准发生器确保可重复和准确的标准，用于精确校准和验证，取代昂贵的预混标准
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该系统由内置的泄漏检测器监控，当发生泄漏时，该检测器会触发紧急关闭过程
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一种沐浴健康监测器是专门设计的专用模块，用于分析污染物，击穿产品和浴室老化
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该系统使用ECI的CO ChemPacks应用程序的广泛尺寸库
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该系统最多可以监控四个电镀槽
重点福利
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支持常规，高和低Co浓度化学，用于高批量制造和研发;用户可以轻松转换系统来分析各种CO Chemistries
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通过填充和沟槽结构增强最先进的技术
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可以用最先进的电镀工具轻松组合
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符合严格的公差规格，成功沉积每层
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精密制作，低维护组件
超过25年，质量线®在铜镶嵌过程的分析和控制方面，化学监测系统一直处于行业的最前沿。钴的质量分析仪现在在第二代中，包括扩展功能。自2015年系统成立以来，ECI已售出50多个单位。
配置为满足用户的需求
机柜采用符合fm4910标准的材料。欧洲杯足球竞彩系统中提供了四个主要部分，用于将化学处理部分与电子设备隔离。
图像信用：ECI技术
技术规格
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now®已经提供了试剂递送系统
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尺寸-762mm（30“）W x 2061mm（81.1”）H x 610 mm（24“）d
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排气4“OD化学排气
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AC-180至245 VAC, 50/60 Hz, 15 A
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符合标准-CE，SEMI F-47，SEMI S2-S8，NFPA-79
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数据通信 - 多个通信协议：以太网/ RJ45端口支持SEC / GEM，RS-232和TCP / IP与FAB的主机