3D堆叠和复杂晶体管的现有过程需求需要超出以前的设备能力的湿过程控制。2020欧洲杯下注官网通过将所需选择性化学沉积步骤的数量通过缩放到摩尔和多层的BEOL来膨胀。
从研究和开发到大型制造业的快速推出意味着湿化学沉积设备应可扩展，精确和经济。2020欧洲杯下注官网
Qualisurf.®一系列分析仪是完全自动化的在线、在线和台式化学监测系统，可配置为复杂的蚀刻和清洁应用，以精确控制金属化溶液的组成，如污染物和添加剂在sub-ppm水平。
QUALISURF平台有一个灵活的架构，可以帮助将不同的方法安装在一起，有条不紊地进行过程控制，例如:
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合格进料湿化学
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设备和生产车间的化学质量控制
- 高级清洁化学与多种物种
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可以支持多个过程工具
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流程解决方案可以被跟踪和优化以供重用
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用户可以回收或回收化学以实现有效的过程，并满足环境和可持续发展目标
QUALISURF分析仪应用指南
来源:ECI技术
模型 |
过程 |
应用 |
好处 |
qsf - 100 |
BEOL |
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QSF-200. |
BEOL |
- 清洁＆蚀刻彼得
- W联系人穗青葱
- 锡硬面罩去除
- AlOx / HMO清洗
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- 连续测量所有关键组件
- 可以重复使用化学品
- 优异的H2O.2
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QSF-200. |
Feol. |
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QSF-300 |
欧洲杯足球竞彩材料质量 控制/设施
和浪费
管理 |
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- 资格输入化学品，对高级设计节点管理成本，产量和可靠性至关重要
- 严格控制DSP+混合浓度
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QSF-500. |
Feol. |
- 用热磷酸(H3.阿宝4.）沟槽隔离
- 间距和变薄
- 位线
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QSF-600i. |
发布CMP.
过程 |
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QSF-800. |
摩尔 BEOL |
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qsf - 900 |
Feol. |
- Sigma各向异性蚀刻（TMAH）
- 如果腐蚀
- 锗硅
- Gaa.
- 多晶硅蚀刻
- 光致抗蚀剂带，移除和返工
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- 多组分采用近红外(NIR)测量，时间<5分钟。每柜
- Si蚀刻的优越选择性
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qsf-
W100. |
先进的包装 |
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qsf-
W200 |
先进的包装 |
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主要特征
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支持光谱学集成，并与所有工艺工具和Fab主机进行通信，实现闭环控制
- 使用基于配方的测量和数据分析以及结果的输出和可视化，以众多数据格式出口
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为每种化学试剂提供大量的再循环管路支持
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提供全面的历史和当前状态的坦克，也显示SPC数据，而不中断自动分析序列
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使溶液回收;由于较少的浪费导致降低成本
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自动控制和分析化学成分和物种
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坦克摘要包括每个过程室的分析数据，以及标准数据
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分析频率可由用户确定，并以分析技术和化学为基础
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独特，低维护电极和多个集成的自动化例程，允许简单的诊断，维护和故障排除
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为了便于结果对比，可以使用单独的SPC告警历史记录和按时间顺序排列的告警历史记录
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许多警报指示器提醒操作人员有关的问题，在罐或仪器
关键好处
流程改进
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流程浴化学的快速表征和分析使即时反应和整流能够处理条件。通过了解定量过程组合物，还增加了产品产量。
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建立95％可用性的可靠性，MTBF超过1000小时*
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完全自动化的系统利用可编程配方进行准确控制。这些配方包括延迟，样品提取，组合物补充和净化到清洁线的步骤，从而为更紧密的过程控制提供更多的过程知识和精度。
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使溶液回收;减少损耗，降低成本。
多才多艺的
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采样和分析了许多化学和工艺工具，例如检测进入原料化学供应的变化，并分析
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模块化设计可实现灵活的配置，从而提高过程的均匀性和再现性
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多通道能力支持流程工具的所有罐
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可以配置为子fab设置吗
方便使用的
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灵活的软件提供了许多观看选项
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软件使过程控制与报警设置，状态条件，和在线帮助容易
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防止预防性维护要求降低了消耗品的成本，可以易于领域serv
*化学依赖
技术规格
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AC：180至245 Vac 50/60 Hz和15 A.
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尺寸：762（30“）宽度x 1822（71.75”）高度x 610（24“）深度
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批量补充：干燥接触
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安全联锁
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符合标准：CE，NFPA 79，SEMIS2-S8和SEMI F47
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数据通信：许多通信协议，如串行，RS-232，TCP / IP和SEC / GEM