的QUALI-STREAM®在复杂的IC和PCB基板制造过程中,来自ECI技术的在线分析仪允许更严格的控制湿表面处理过程。
的QUALI-STREAM®分析仪自动量化湿表面处理槽中的部件,并通过fab和/或工艺工具在闭环控制中传输数据,以改进补充和工艺控制。
根据用户的电镀溶液选择多种分析技术,可以扩展各种浓度控制。
控制腐蚀率
可选的自动取样,分析和补充解决方案:
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化学镀铜溶液分析仪(Cu, HCHO和NaOH)
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(NaOH和MnO4)
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电镀镍液(用于瓦特浴)(H3.薄3.pH, Cl和Ni)
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电镀镍液(氨基甲酸浴)(H3.薄3.pH, Cl和Ni)
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镀金液(Au和pH值)
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液体催化剂(Pd)
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显影剂和清洗液(NaOH)
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处理液体(非盟)
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导电处理液体分析仪(铜)
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化学镀Pd溶液(Pd)
该控制器是紧凑的,可以执行几个功能类似于全尺寸,更高级别的QUALI-FILL®来自ECI技术的天秤座化学监测和管理系统。
关键特性
自动化分析
的QUALI-STREAM®分析仪样品化学溶液并研究化学溶液的浓度。通过可选的外部数据通信网络或USB发送所得到的数据。
使用ECI技术的专有软件估算数据,并将处理溶液的浓度修正到预设值。将分析池和传感器清洗干净并准备好,以便开始后续的样品分析。
计量
对众多流程工具和化学物质的计量支持包括以下内容
关键好处
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特别为最新的基片设计,每一个分析- aipflip芯片(ABF材料),射频,SiP, PCB和IC基片市场都是快速和极低的成本
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通过直接取样或再循环线进行溶液取样
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有助于技术的发展,更少的过程解决方案,降低成本和降低劳动力成本的分析和补充
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减少化学品的使用,提高浴龄,具有优良的性能(重现性和精密度)
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ECI技术是现场验证技术的领导者,可以简单地集成到用户的生产线中
图片来源:ECI技术公司
技术规格
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交流:110到264 VAC 50/60 Hz,和15 A
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尺寸:673(26.5″)宽× 840.7(33.1)高× 342.6 mm(13.5″)深
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安全联锁是可用的
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数据通信:支持Serial、RS-232、TCP/IP、SECS/GEM等多种通信协议
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可选批量续杯
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符合标准:CE, NFPA 79和SEMIS2-S8(可选)