已经开发出来自UHV设计的晶片鳍状件以支持各种系统方向之间的偏移，要求晶片超过180°。
该设计使用磁耦合三轴传送臂，从而提供具有特殊样品夹持机构的旋转和线性运动。这使得晶片能够用内置弹簧机构紧密抓住，以防止过度压缩。通过单个致动器获得样品的旋转和线性运动，其行程长度范围为304至1219mm。
通过单独旋转外线顶部的后部来致动晶片夹具。
主要特征
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低负载下的零间隙
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具有特殊晶片夹持系统的独立旋转和线性运动
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无与伦比的140n轴耦合强度提供安全传输
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可以烘烤到250°C，而无需去除任何组件
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内置弹簧可防止在抓握时压缩晶片
图片信用：UHV设计有限公司