Evactron U50等离子体De-Coloraminator是一种紧凑的简单等离子体清洁剂，具有高性能适用于在UHV条件下工作的室内和仪器。U50提供高功率清洁，以消除样品和腔室表面上的碳氢化合物污染。
Evactron U50 De-Contaminator已经设计了选择使用有线触摸板接口来编程清洁参数的设施。RS-232电缆用于连接触摸板（尺寸为134×112×69 mm）。
具有紧凑的占地面积，简化的PRS利用UV余辉和空气等离子体来最小化烃污染，快速提供结果。
Evactron U50等离子源（PR）的设计紧凑，使其成为样品预备室，装载锁或仪器室的通用解决方案。Evactron U50在广泛的压力范围内提供有效，快速且稳健的清洁，从而促进了快速的向下增加时间和无UHV和无碳氢化合物RGA光谱。
图像信用：Evactron（XEI Scientific）
图像信用：Evactron（XEI Scientific）
系统特色
- RF功率为75 W峰值，连续高达50 W
- 用等离子体和紫外线清洗双动作清洁
- 节能射频空心阴极等离子体（RFHC）
- UHV兼容性由Conflat 2.75法兰确保
- 食谱，电源，循环次数和清洁时间是可编程的
- TETHERED TOUCHPAD命令通信模块
- 广泛的压力操作：0.3 PA / 2 MTORR至80 PA / 600 MTORR
- 可以烤到150°C
- TMP兼容，无需进展通风
- 快速清洁 - 比上一代Evactron型号快100倍以上
- 零溅射蚀刻避免敏感组件损坏
- 泄漏测试到<10-11托或10.-11mbar（1.3e.-9PA）
- 按钮清洁操作
- 等离子体点火不需要匹配或气体流量调节
- 符合CE，NRTL，ROHS，SEMI和TUV
Evactron U50系统规格
- evactron u50等离子体源
- 硬件互锁
- 带按钮操作的桌面控制器
- 100-240 VAC 50/60 Hz输入
- 系列触摸板通信包
- RF Power-35至75瓦，在13.56 MHz RFHC
- 底盘尺寸-W×H×D：17.2“×3.5”×8.6“（44×8.9×22cm）
- 符合CE，NRTL，ROHS，SEMI和TUV