Semilab的ProberStation 200™允许自动AFM测量，同时保证每次测量的故障分析、质量保证和质量控制的最低成本，以及最大限度的易用性。
ProberStation 200™具有开放式设计，提供空间同时安装额外的设备，如纳米压头或光学显微镜，AFM。2020欧洲杯下注官网
性能
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ds95 AFM扫描仪的紧凑设计确保了良好的稳定性和扫描速率
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全数字C-32 SPM控制电子提供先锋成像控制和反馈性能
易用性
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即插即用悬臂式交换的特殊选择，确保系统安全快速运行
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AFM扫描器中包含的光轴允许在接近和定位过程中进行完全的视觉控制
自动化
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高精度XY平台可以在样品上进行基于坐标的导航
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基于脚本的度量配方生成允许用户指定的自动化度量，并提供成本和时间效率高的度量数据收集
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额外的光学设备可用于模式识别2020欧洲杯下注官网或替代显微镜模式
通过ds95 SPM扫描范围，Semilab提供了性能和易用性的终极组合。ds95 SPM扫描仪反映了在SPM应用和制造领域长达十年的经验，以帮助用户在尽可能短的时间内实现最佳和最一致的结果。
ProberStation 200™是用于散装样品AFM测量的高级阶段。ProberStation 200™的远程XY翻译器有助于在所有地方分析200毫米的样品，在某些样品区域可分析300毫米。
该工作台可以安装一个光学参考系统，以便在缺陷审查应用中获得更大的定位精度。整个定位过程是高度稳定和完全自动化，使其理想的检查各种结构特征的单个样品在夜间和长期测量运行。
与基于干涉仪的定位系统相比，通过提供类似的性能，投资努力大大减少。
完全可编程的样品定位允许独立的AFM测量各种样品位置，自动报告生成和自动图像分析。与高端光学系统的集成使AFM检测的样品位置自动选择成为可能。
因此，roberStation200™设置是过程开发和应用，工业质量控制和研究和开发环境的最终解决方案。不受限制的空间OEM或定制集成额外的分析设备铺平了研究应用的道路。2020欧洲杯下注官网
右侧的形貌图显示GaN样品呈现原子台阶和缺陷。左边的图形和图像显示了一段分析，可以确定单个原子步骤的步高。图片来源:Semilab半导体物理实验室