通过将聚焦离子束二次离子质谱(FIB-SIMS)功能添加到FIB-SEM显微镜，fibTOF能够实现纳米分辨率的化学物质的三维敏感成像。
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可以灵敏地检测轻元素，如氢、氟、锂和硼
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支持所有元素的三维化学成像，深度剖面分辨率小于10 nm，横向分辨率小于50 nm
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可与领先的商业FIB-SEM显微镜一起使用而不影响图像质量
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允许增加质量分辨能力的明确元素识别
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使同位素成像实验，以分析扩散，传输，或反应机制
毫不妥协地推进FIB-SIMS
光纤扫描显微镜增加了三维化学成像
二次离子质谱，或SIMS，是一种行之有效的方法，其中高能离子束用于样品溅射，引起带电粒子(二次离子)和中性粒子的喷射。欧洲杯猜球平台
质谱仪被用来测量溅射离子，提供关于样品的化学数据。当一个适当精细的初级离子束在样品上扫描时，SIMS技术提供了优越的横向分辨率和高的深度分辨率(次级离子只来自样品表面)。
图片来源:TOFWERK
通过将fibTOF功能添加到FIB-SEM显微镜中，SIMS测量可以在不影响EDX/SEM测量的情况下获得出色的成像性能。fibTOF的飞行时间质量分析仪总是能获得完整的质谱，使数据后处理过程中可视化任何目标离子成为可能。
fibTOF规范
在不影响图像质量的前提下，该光纤光栅可以与市面上领先的光纤扫描电子显微镜一起使用。
来源:TOFWERK
大规模的分辨能力
米/ΔM应用 |
质量范围(Th) |
检测极限 |
横向空间分辨率* |
深度分辨率* |
| > 700 |
1 - 500 |
ppm |
50纳米 |
10纳米 |
＊基于聚焦离子的性能光束。