Covap系列为许多工艺应用提供了一种紧凑、经济但仍然强大的解决方案。专为实验室设计，需要一个安全可靠的工具，生产可重复，高质量的薄膜在紧凑的足迹。
基于我们的高质量标准，Covap具有闭环共沉积控制、配方存储和独特的矩形蛤蜊壳腔，以提高可访问性(即使集成了可选手套箱)。
沉积源隔离，减少热效应和交叉污染，并配备一套完整的可移动腔室屏蔽，确保腔室易于清洁和维护。当腔室打开时，切断源、级电源和气动压力，确保最高级别的安全。
Covap拥有一个智能设计的控制界面，允许新用户迅速成为独立的运营商。智能设计的控制允许多层，顺序或共沉积，所有具有极佳的重复性。衬底固定器支持高达100mm x 100mm的样品，通过涡轮分子泵实现高真空，并可以容纳2或4个热阻源。所有这些都在一个紧凑的600毫米x 1000毫米系统占地。
Covap拥有1年的保修期，由行业中响应最快的支持团队提供支持，并由Angstrom engineering提供8小时客户响应保证。
Covap可能很小，但它很强大。
下载小册子获取更多信息
客户证明
在我使用过的所有系统中，您的系统是迄今为止最可靠、最稳定、最容易使用的。
马克·巴尔多博士-麻省理工学院