新epg®120通用和完全自动抗蚀剂处理工具具有处理多个基板形状的能力，尺寸高达200 mm / 8“。
最新一代EVG120采用新的超紧凑型设计，具有NWEWY开发的化学柜，用于化学品外部存储，同时提供增加的通量能力，最大限度地用于大容量客户要求，并准备在高批量生产中使用（HVM）。
的EVG®120为用户提供了一个错综复杂的福利，刚刚在任何其他工具中找到，并以异常低的所有权成本，确保了几个应用领域的最大质量标准。
特性
-
晶圆尺寸范围可达200毫米
-
超紧凑的设计至少提供了至少占地面积
-
可用于旋转和喷涂、开发、烘烤和冷却的多功能模块的适应性组合，在多个应用领域提供了巨大的机会
-
可提供多达两个涂层或显影室和10个热板或冷板
-
化学柜可外接存放化学品
-
COVESPIN™旋转盖提供，提供了低抗蚀剂消耗和改善的抗蚀剂涂层均匀性
-
ev集团的专有omnispray®超声雾化技术提供了与极端拓扑涂层关注的保形涂层提供无与伦比的结果
-
可用于清洁，超声化学加工和开发的巨型技术，增强工艺效率，并将处理时间从小时降至几分钟
-
提供工艺技术卓越和发展服务
-
先进和现场验证的机器人处理双端效应器能力保证恒定的高吞吐量
-
多用户概念（不同的用户界面语言，可分配的访问权限和无限数量的用户帐户和食谱）
-
智能过程控制和数据分析功能（框架SW平台）
-
结合分析功能的过程和机器控制
-
并行或排队任务处理功能
-
可提供配合和工艺性能跟踪功能
-
附带智能处理功能
-
智能维护管理和跟踪是可能的
-
可用的发生和报警分析
技术数据
| 。 |
。 |
| 可用的模块 |
旋转外套/ omnispray®/开发
烘烤/寒意 |
| 晶圆处理选项 |
单/双EE /边缘处理/晶圆翻转
鞠躬/翘曲/薄晶圆处理 |
智能过程控制＆
数据分析功能
（框架SW平台） |
综合分析功能的过程和机器控制
并行任务/队列任务处理功能
2020欧洲杯下注官网设备和工艺性能跟踪功能
智能处理功能
出现和报警分析/智能维护管理和跟踪 |
薄片直径
（衬底尺寸） |
高达200毫米 |
| 模块数量 |
流程模块：2
烘烤/寒意模块：最多10个 |
工业自动化
特征 |
ERGO Load Cassette Stations / SMIF Loadports / Secs / Gem / Four负载端口 |
| 分类选项 |
各种抗滴剂泵，覆盖范围广，粘度可达52000 cP
液体底漆/预湿/洗碗
边缘珠子去除（EBR）/背面冲洗（BSR）
恒压点胶系统/注射器点胶系统 |
抵制分配泵
功能流监控 |
可编程分配速率/可编程卷/可编程湿回
超声波 |
额外的模块
选项 |
预对准:光学/机械
ID阅读器：条形码，字母数字，数据矩阵 |
| 系统控制 |
操作系统:Windows
文件共享和备份解决方案/无限制。食谱和参数/离线配方编辑器
灵活的流程定义/简单的拖放配方编程
并行处理多个作业/实时远程访问，诊断和故障排除
多语言用户GUI和支持：CN，DE，FR，IT，JP，KR |
来源:电动汽车集团