epg®150已被设计为完全模块化平台，因此可以实现高通量性能和自动喷涂/旋转/开发过程。epg®150确保高度均匀的涂层和增强的重复性。具有高地形的晶片可以通过EVG的OmniSpray技术均匀涂覆，传统的旋涂面向限制。
特色
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可用性最多六个流程模块
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晶圆尺寸范围高达300毫米
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可定制的数字 - 最多20个烘烤或寒冷或蒸气极堆栈
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最多四个FOUP负载端口或盒式装载
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ev集团的专有omnispray®超声雾化技术提供了当极端拓扑的共形涂层时提供无匹的过程结果
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可用的模块包括开发，NanoCoat™，旋转外套，喷涂外套，Prime / Vapor / Chill / Bake /
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可选的纳米粥™模块达到300微米深图案的共形涂层，宽度比率高达1:10和垂直侧壁
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烘烤模块范围高达250°C
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广泛的支持材料欧洲杯足球竞彩
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先进和现场验证的机器人处理双端效应器能力保证恒定的高吞吐量
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巨型技术用于清洁，超声化学加工和开发增强了工艺效率，并将过程时间从小时到几分钟降低
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可以处理厚或超薄，细腻，弯曲或小直径晶片
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提供工艺技术卓越和发展服务
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适用于旋转和喷涂，开发，烘烤和寒冷的多功能模块的适应性组合，在几个应用领域提供了很大的机会
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多用户概念（无限数量的用户帐户和配方，不同的用户界面语言和可分配的访问权限）
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可选的FSS（FOUP存储系统）和EFEM（设备前端模块）2020欧洲杯下注官网
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智能过程控制和数据分析功能（框架SW平台）
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过程和机器控制的组合分析功能
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并行或排队任务处理功能
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2020欧洲杯下注官网可提供设备和工艺性能跟踪功能
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可提供智能处理功能
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带智能维护管理和跟踪
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发生和报警分析
技术数据
| 。 |
。 |
| 模块数量 |
流程模块：最多6个
烘焙/寒意模块：最多20个 |
工业自动化
特色 |
ERGO Load Cassette Stations / SMIF Loadports / Secs / Gem / Four负载端口 |
智能过程控制＆
数据分析功能
（框架SW平台） |
流程和机器控制的综合分析功能
并行任务/队列任务处理功能
2020欧洲杯下注官网设备和工艺性能跟踪功能
智能处理功能
出现和报警分析/智能维护管理和跟踪 |
薄片直径
（衬底尺寸） |
高达300毫米 |
| 可用模块 |
旋转外套/ omnispray®/开发
烘烤/寒意 |
晶圆处理
选择 |
单/双EE /边缘处理/晶片翻转
鞠躬/翘曲/薄晶圆处理 |
| 分类选项 |
各种抗蚀剂耐心泵，以覆盖多达52000 CP的广泛粘度
液体喷射/预湿润/碗洗
边缘珠子去除（EBR）/背面冲洗（BSR）
恒压分配系统/注射器分配系统 |
抵制分配
泵特点
流动监测 |
可编程分配速率/可编程卷/可编程湿回
超声波 |
附加模块
选择 |
预先准确：光/机械
ID阅读器：条形码，字母数字，数据矩阵 |
| 系统控制 |
操作系统：Windows
文件共享和备份解决方案/无限制。食谱和参数/离线配方编辑器
灵活的工艺流程定义/轻松拖放配方编程
并行处理多个作业/实时远程访问，诊断和故障排除
多语言用户
GUI与支持：CN，DE，FR，IT，JP，KR |
来源：ev组