MBraun公司的薄膜沉积(TFD)蒸发器系统

MBRAUN.薄膜沉积系统被设计用于大学研究,以及大规模的工业应用。我们提供标准和定制的薄膜沉积系统。

构建多层薄膜层需要纯的大气条件(<1ppm的氧气和水分),并且可以快速,可靠地持续地除去细颗粒。欧洲杯猜球平台MBRAUN.设计了用于多层薄膜沉积的OLED/PLED薄膜蒸发器手套箱;不干扰由物理或化学吸附引起的中间层。

MBRAUN.薄膜沉积系统和部件是高度可靠的系统,可在半导体器件制造应用中常规实现<5%的涂层均匀性。产品配置范围从独立钟罩到自动装载系统,在手套箱中的晶片(和其他应用)的涂层范围为2“至300mm。

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