EVG510 HE半自动热压系统是专门为热塑性基材的高精度压印而开发的。该设备设2020欧洲杯下注官网计了一个通用压纹室，具有真空和接触力能力。
该系统调节了适用于热压花的所有聚合物。随着多种脱压和高纵横比压压选项，提供了几种高质量的纳米图案转移工艺。
特性
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自动压花过程
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EVG专有的个人对齐过程，确保光学对齐的压印和压花
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适用于自旋聚合物和聚合物基板的热压应用
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配有一个外部的去压纹和冷却站
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可提供闭环冷却水供应选项
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完全由软件控制的过程执行
技术数据
| 加热器大小 |
150毫米 |
200毫米 |
| 最大的基板尺寸 |
150毫米 |
200毫米 |
| 最低基板尺寸 |
单芯片 |
100毫米 |
| Max。接触力 |
| 10、20、60 kN |
| Max。温度 |
| 标准:350°C |
| 可选:550°C |
| 键合卡盘系统/对准系统 |
| 150mm加热器:EVG®610年,EVG®620年,EVG®6200 |
| 200mm加热器:EVG®6200年,MBA300 SmartView®NT |
| 真空 |
| 标准:0.1 mbar |
| 可选:0.00001 mbar |
来源:电动汽车集团