EVG720 UV纳米压印光刻系统利用EVG的新型Smartnil技术和材料专业知识，以便于大规模制造微型和纳米结构。欧洲杯足球竞彩
EVG720系统可以在具有低于所有权和无与伦比的吞吐量的巨大区域上打印小于40 nm *的纳米结构。由于其Smartnil技术，它非常适合下一代微流体和光子器件的体积生产，如衍射光学元件（DO）。
*解决方案基于流程和模板
特征
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批量验证的印记技术可提供优秀的复制保真度
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可选的顶侧对齐
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专有的Smartnil.®技术配有多次使用的聚合物邮票技术
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UV固化脱模，组合印记和工作邮票制造
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可扩展性从研发到生产中确保
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自动录像带到盒式磁带与半自动研发模式一起处理
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配有可选的迷你环境
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系统外壳提供最佳的过程可靠性和稳定性
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为所有市售印记材料提供开放式平台欧洲杯足球竞彩
技术数据
| 。 |
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| 晶片直径（基板尺寸） |
75至150毫米 |
| 解决 |
≤40nm（依赖于模板和过程的分辨率） |
| 支持的过程 |
Smartnil.® |
| 曝光来源 |
大功率LED（I-LINE）> 400 MW /cm² |
| 结盟 |
可选的顶侧对齐 |
| 自动分离 |
支持的 |
| 迷你环境和气候控制 |
可选的 |
| 工作邮票制作 |
支持的 |
来源：ev组