EVG7200自动UV纳米压印光刻系统利用EVG的新型Smartnil技术和EVG的材料专业知识，以允许大规模制造微型和纳米结构。欧洲杯足球竞彩
该系统有助于将Smartnil的最新软印章和更大的基板和较小几何形状应用于更大的底板和较小的几何形状，分辨率测量到40 nm *的体积产生。这允许更高的所有权（COO）益处，有助于实现纳米压印光刻的完整制造能力。
*解决方案基于流程和模板
特征
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专有的Smartnil.®技术可用多用途聚合物邮票技术
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可选的顶侧对齐
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具有优秀复制保真度的体积证明印迹技术
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可选的迷你环境
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附带自动录像带到盒式磁带处理以及半自动研发模式
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可扩展性从研发到生产中确保
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可用性脱模，组合印迹，UV固化和工作邮票制造
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系统外壳，理想的工艺稳定性和可靠性
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为所有市售印记材料提供开放式平台欧洲杯足球竞彩
技术数据
| 。 |
。 |
| 晶片直径（基板尺寸） |
75到200毫米 |
| 解决 |
≤40nm（依赖于模板和过程的分辨率） |
| 支持的过程 |
Smartnil.® |
| 曝光来源 |
大功率LED（I-LINE）> 400 MW /cm² |
| 结盟 |
可选的顶侧对齐 |
| 自动分离 |
支持的 |
| 迷你环境和气候控制 |
可选的 |
工作邮票制作 |
支持的 |
来源：ev组