EVG7300自动紫外线纳米压印光刻系统充分利用EVG的Smartnil技术，允许大规模制造微型和纳米结构。
EVG7300能够在具有低于所有权和无与伦比的吞吐量的巨大区域上打印小于40 nm *的纳米结构。因此，它支持生产一系列设备和应用，例如用于增强或虚拟现实（AR / VR）耳机，生物医疗设备，3D传感器，纳米级和血管科的光学装置。
此外，EVG的SmartNil技术已得到增强和模块化为EVG7300系统。结合EVG的材料专业知识，该系统提供了在市场上提供的最先进的纳米压印能力，具有符合的印迹，快速固化时间，具有高功率灯和光滑的盖章脱离。
*解决方案基于流程和模板
特色
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完全自动化的UV-nil印记和低力分离可用
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可用于高地形（坚固的）表面
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体积制造结构低至40 nm和更小
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底物高达300毫米
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可以执行一步的全区域压印过程
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支持广泛的结构形状和尺寸，包括3D
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200毫米/ 300 mm桥接工具功能
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恒定模式操作
技术数据
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。 |
薄片直径
（衬底尺寸） |
200毫米/ 300毫米
150 mm / 200 mm |
| 解决方案 |
≤40* nm |
| 支持的过程 |
Smartnil.® |
| 曝光来源 |
大功率LED（I-LINE）> 400 MW /cm² |
| 对齐 |
≤±3μm |
| 邮票分离 |
全自动 |
| 迷你环境和气候控制 |
可选 |
| 工作邮票制作 |
支持 |
来源：ev组