SVT Associates的NorthStar™原子层沉积(ALD)系统是一个多功能的研究沉积工具，用于热或能量增强ALD。由于有多达8条前驱体线和一个热壁交叉流沉积室，单一系统可以实现广泛的应用。样品介绍是快速和方便的快速舱口或可选的负载锁定。NorthStar ALD系统可以与其他沉积和计量工具相连接。现场测量工具和RoboALD软件/系统自动化的集成提高了过程的再现性。SVTA是您的成本效益原子层沉积设备的来源。2020欧洲杯下注官网
原子层沉积系统应用:
- High-k电介质
- Nanocoatings
- 表面改性层
- 防腐层
- 防潮层的层
- 器件封装
- 微机电系统
- 光子晶体
原子层沉积设备选择:2020欧洲杯下注官网
- 快速样品交换的负载锁定
- 等离子体组件
- 臭氧输送系统
- 残留气体分析- QMS
- 石英晶体沉积监测仪
- 现场椭圆光度法
- 转移到特高压沉积系统