Thermo Fisher Scientific公司的Helios 5激光PFIB系统集成了同类领先的单色化Elstar扫描电子显微镜(SEM)柱，使用等离子体聚焦离子束(PFIB)和飞秒激光器。
这就产生了一种高分辨率的成像和分析工具，具有现场烧蚀能力，为纳米分辨率下的快速毫米级表征提供了无与伦比的材料去除率。
统计相关的地下和三维表征
飞秒激光器能够切割不同的材料，速度比标准的镓FIB快几个数量级;欧洲杯足球竞彩用户可以在5分钟内创建一个大的(数百微米)横截面。
由于其不同的去除机制(烧蚀与FIB的离子溅射)，激光可以很容易地处理坚韧的材料，如不导电或离子束敏感的样品。欧洲杯足球竞彩
高质量大容量分析
由于飞秒激光脉冲持续时间非常短，几乎没有诸如熔化、微裂纹、热冲击或传统机械抛光的典型现象。在大多数情况下，激光研磨的表面足够干净，可以用于直接的SEM成像，甚至可以用于表面敏感的方法，如电子背散射衍射(EBSD)制图。
该仪器基于成熟的Helios 5 PFIB平台开发，包括一系列先进的技术，可提供高性能、高分辨率透射电子显微镜(TEM)、原子探针断层扫描(APT)样品制备和具有精确材料对比的高分辨率SEM成像。欧洲杯足球竞彩
关键特性
快的材料去除
该系统具有毫米级的截面，比传统的镓聚焦离子束去除材料的速度快15000倍。
统计相关地下和三维数据分析
这种仪器能在较短的时间内获得大量的数据。
精确和可重复的切割位置
该系统对所有三束(SEM/PFIB/激光)保持相同的重合点，便于精确和可重复的切割放置和3D表征。
深部地下特征的快速表征
该仪器可以提取亚表面透射电镜片层或块进行三维分析。
高通量加工具有挑战性的材料欧洲杯足球竞彩
该仪器配有离子束敏感或非导电样品。
快速和简单的表征空气敏感的样品
该系统避免了在不同的成像和横切仪器之间转移样品的需要。
共享Helios 5 PFIB平台的所有功能
该系统能够进行高质量的无镓TEM和APT样品制备以及高分辨率成像。
规范
来源:Thermo Fisher科学电子显微镜解决方案
| 飞秒激光的规范 |
| 激光集成 |
- 所有3束光束（SEM/PFIB/激光）均完全集成在腔室中，具有相同的重合点，从而实现精确且可重复的切割放置和3D表征。
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| 激光输出 |
| 第一次谐波 |
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| 二次谐波 |
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| 光学 |
| 重合点 |
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| 物镜 |
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| 极化 |
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| 重复率 |
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| 位置精度 |
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| 保护快门 |
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| 软件 |
- 激光控制软件
- 激光三维串行切片工作流程
- 基于EBSD的激光三维连续切片工作流程
- 使用可选的Thermo Scientific AutoScript 4软件编写激光脚本
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| 安全 |
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