大气压电离质谱仪（APIMS）

Extrel公司的VeraSpec大气压电离质谱仪（APIMS）设计用于可重复和可靠的低万亿检测限。这有助于控制半导体等高科技工业应用中使用的超高纯度（UHP）气体的污染。

下面列出了使用VeraSpec APIMS控制UHP气体污染的主要好处：

• 无与伦比的测量范围从PPT到100%，具有独特的双源电离配置，集成了电子碰撞和大气压电离源
• 多物种、实时监测关键杂质，如O_2.，CO，H_2.O、 新罕布什尔州_3.，CH_4.，公司_2.还有更多
• 用户友好，内置用户界面，用于气体纯度、有效操作和计划自动校准的使用点视觉指示器
• 可靠的质谱技术