FormFactor frtmicroprof®FS是一种完全自动化的晶圆测量工具，可以为Wafer Foundry中的广泛应用程序配置。这同时使用了标准解决方案。
对于现有硅铸造应用的计量解决方案，多功能性和灵活性至关重要。microprof®FS提供了一种模块化方法来制造完全自动化的多传感器工具，该工具可以解决所有必要的测量任务。这就是为什么它被命名为铸造明星。
强调
- 标准化的硬件组件合并在客户特定的计量解决方案中
- 完全自动化的混合计量学和多传感器技术设置mems和铸造厂
- 处理各种底物类型的能力
- 针对晶圆铸造厂的广泛应用量身定制
- 强大的内部软件，用于完全自动化的2D和3D表面计量学
多亏了其核心计量组件，已验证的FRT Microprof®300多传感器计量工具用于实现各种产品的测量。
通过利用混合计量学概念，它提高了单个传感器或测量原理不够的样品的测量准确性。缩略图的测量系统®FS已装有花岗岩底座设置，带有三点样品固定装置或真空盘。