Carl Zeiss显微镜的Zeiss Axio Imager Vario使用户甚至可以检查最小的MEMS传感器，直至XXL晶圆，甚至完整的平面平面面板显示而不会破坏它们。
由于样品高度高达254毫米，横向空间高达300毫米，用户可以分析具有Axio Imager Vario的最宽的样品范围。
列设计提供了高稳定性。用户可以控制清洁室中的晶圆。电动Z驱动器以及硬件自动对焦可确保自动设置理想的焦点位置。
整理房间
用户可以生产半导体，并在清洁室里检查晶圆。清洁室按照Din en iso 14644-1分类，以每立方米的颗粒数量和大小为特色。欧洲杯猜球平台Axio Imager Vario已根据此标准获得了认证，并满足了Clean Room Class 5的需求。
Clean Room类ISO 5与以前的标准Fed STD 209E（1992）的100级相媲美。用户可以使用清洁室套件，包括7倍的鼻炮塔，打喷嚏和颗粒保护。
强调
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用户可以从最佳的254毫米的最佳样品高度和最高300毫米x 300毫米的横向样品空间中受益。他们可以在两条手动和一台机动柱之间选择，以及符合行业的3键操作。
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Axio Imager Vario在样品上以鼻序浓缩。这意味着用户可以实现高关注精度和可重复性，尤其是在笨重的样本中。
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使用Axio Imager Vario和LSM 700，用户可以在没有接触的情况下检查高分辨率的敏感样品。
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用户可以通过硬件自动焦点快速准确地专注于反射样品，这似乎是相反的。
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Axio Imager Vario经过DIN EN ISO 14644-1的认证，并满足了Clean Room Class 5的需求。