借助Zeiss Axio Imager Vario，用户可以检查最小的MEMS传感器，直至XXL晶圆，甚至不破坏完整的平面平面面板。
由于最大300毫米的横向空间和最大254毫米的样品高度，用户可以使用Axio Imager Vario仔细检查最宽的样品。列设计提供了高稳定性。
用户可以完全控制清洁室中的晶圆。电动Z驱动器以及硬件自动对焦可确保自动设置完美的焦点位置。
整理房间
可以在干净的房间中进行半导体和晶圆的检查。干净的房间根据DIN EN ISO 14644-1进行认证，以每立方米的颗粒数量和大小为特色。欧洲杯猜球平台
Axio Imager Vario根据此协议进行认证，并匹配清洁室5的必要性。清洁房间ISO 5与以前标准FED 209E（1992）的100类相同。可提供带有7倍鼻孔炮塔，打喷嚏和颗粒保护的干净房间套件。
强调
图片来源：Carl Zeiss显微镜GmbH
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Axio Imager Vario使用鼻装专注于样品。这意味着用户可以实现可重复性和高度关注的准确性，尤其是使用重型样品。
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通过硬件自动重点，用户可以从准确，快速关注反射样品中获利，而反射样品的相比之下。
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用户可以从300毫米x 300毫米的横向样品空间和最大样品高度最大为254毫米。他们可以在两条手动和一个机动柱之间进行选择，并遵循三个键操作。
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Axio Imager Vario根据DIN EN ISO 14644-1认证，并满足Clean Room Class 5的需求。
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Axio Imager Vario以及LSM 700将帮助用户在没有接触的情况下以高分辨率检查敏感样本。