常规的扫描电子显微镜倾向于在二维(2D)中测量和检查所有类型的样品。为了在三个维度(3D)中检查样品表面,用户需要3DSM,Zeiss的可选软件包。
用户可以借助反向散射探测器的信号来重建样品表面的完整3D模型,从而获得地形信息。
通常的用例包括配置文件高度测量。它们通常是由AFM或高质量实验室或行业研究中的AFM或探测仪进行的,例如,以快速评估烙印过程或机械表面。
两种方法都缺乏SEM提供的ROI的简单定位。应要求,可以使用具有清晰阶梯高度的校准标准来修改测量精度,以精确地适合用户的仪器。
图片来源:Carl Zeiss显微镜GmbH
图片来源:Carl Zeiss显微镜GmbH
图片来源:Carl Zeiss显微镜GmbH
强调
3DSM
-
用户可以对带有ASB(ASB选择性反向散射)或ABSD(ANNULAR反向散射,仅是Geminisem家族)检测器的电子显微镜检查的理想样品进行3D表面重建。
-
双子座的瞬时操作和重建时间不到2秒;Sigma以序列提供图像。
-
3DSM可以与SmartSem(可用于SEM的软件,用于顺序或实时3D成像的软件)结合使用,也可以在独立模式下工作以查看存档的项目文件。
-
用户可以进行定期测量,例如配置文件尺寸,以及随后的3D模型直接进行的2D和3D粗糙度评估 - 只需单击几下鼠标。
-
基本的“形状从阴影”算法管理重建。
-
从新的正常粗糙度值(SA,RA,)和新的过滤器中获取,以进行噪声校正和波动。
-
3DSM当前提供了一个新的GUI,该GUI已安排符合工作流程步骤:位置,获取和正确。
3DSM计量学
-
用户可以使用可选软件包3DSM计量器来升级其Zeiss Fe-Sem,以获取自动文档和测量结果,以与ISO 25178,ASME,DIN和其他规定进行常规检查有关。
-
可以在3D中检查表面,并可以生成完整的测量记录。
-
可以表征表面和轮廓,例如粗糙度,步长,纳米尺度轮廓,距离,波浪和晶粒和粒径等参数。
-
制定完全可追溯的计量报告。
3D定量表面模型。图片来源:Carl Zeiss显微镜GmbH