集成计量3D传感器-S Neox

S Neox满足了可集成的传感器中最大的灵活性的需求,因此,这是商业上最广泛的工业系统。

  • FOV(单枪)> 6.7×5.6毫米
  • 收购时间3 S
  • 光学分辨率<148 nm
  • 系统噪声<0.01 nm

集成计量3D传感器

图片来源:感官计量学

高性能的极端多功能性

S Neox将多功能性推向了极端:使用4合1技术,为易变的应用需求提供前所未有的适应性,并在任何表面上具有最佳的测量灵活性。

一些算法的重新设计有助于提高所有技术的能力和速度。因此,添加压电Z电动机的选项使S Neox成为主要表演者。S Neox覆盖了50 nm至5 mm的厚度测量。

集成计量3D传感器

图片来源:感官计量学

物镜

表格1。资料来源:感官计量学

布莱特菲尔德 干涉法
杂志 5倍 10倍 20倍 50x 100x 150x 2.5倍 5倍 10倍 20倍 50x 100x
NA 0.15 0.30 0.45 0.80 0.90 0.95 0.075 0.13 0.30 0.40 0.55 0.70
WD(MM) 23.5 17.5 4.5 1.0 1.0 0.2 10.3 9.3 7.4 4.7 3.4 2.0
fov1(µm) 3378x2826 1689x1413 845x707 338x283 169x141 113x94 6756x5652 3378x2826 1689x1413 845x707 338x283 169x141
空间采样2(µm) 1.38 0.69 0.34 0.13 0.07 0.05 2.76 1.38 0.69 0.34 0.13 0.07
光学分辨率3(µm) 0.94 0.47 0.31 0.18 0.16 0.148 1.87 1.08 0.47 0.35 0.26 0.20
系统噪音4(NM) 100 30 8 5 3 1 PSI/EPSI 0.1 nm(带PZT的0.01 nm)CSI 1 nm
最大坡度5(º) 9 17 27 44 64 72 4 7 17 24 33 44

系统规格

表2。资料来源:感官计量学

测量原理 共聚焦,PSI,EPSI,CSI,AI焦点变化和薄膜
测量类型 图像,3D,3D厚度,轮廓和坐标
相机 5MPX:2448x2048像素(60 fps)
共聚焦帧速率 60 fps(5MPX);180 fps(1.2 MPX)
垂直扫描范围粗糙 线性阶段:40毫米范围;5 nm分辨率
垂直扫描范围很好 电容传感器的压电扫描仪:200 µm范围;1.25 nm分辨率
最大限度。Z测量范围 PSI 20 µm;CSI 10毫米;共聚焦和AI焦点变化34毫米
LED光源 红色(630 nm);绿色(530 nm);蓝色(460 nm)和白色(575 nm;中心)
鼻子 6个位置完全电动
样品反射率 0.05%至100%
高级软件分析 Inc:Sensoview;OP:Sensopro,Sensomap
软件通信 DLL(C ++或C#,Windows 10®-64位)
XML(任何操作系统)
电脑 最新的英特尔处理器
操作系统 Microsoft Windows 10®,64位
电缆长度 5或10 m
环境 温度10ºC至35ºC;湿度<80%RH;高度<2000 m

1使用3/2英寸相机和0.5倍光学元件的最大视野。2表面上的像素尺寸。3L&S:线和空间,根据雷利标准的衍射极限的一半。空间采样可能会限制干预目标的光学分辨率。蓝色LED的值。4系统噪声测量为垂直于光轴的校准镜上的两个连续测量之间的差异。对于干涉测量目标,PSI,10阶段平均值。使用压电级扫描仪和温度控制的房间实现0.01 nm。绿色LED的值(CSI的白色LED)。在VC-E振动环境中获得的值。5在光滑的表面上。在粗糙的表面上最多可达86°。

方面

集成计量3D传感器

图片来源:感官计量学

该供应商的其2020欧洲杯下注官网他设备