集成计量3D传感器-S Mart

S Mart是当前可用的最小的Areal共聚焦传感器,并提供了紧凑的设计和多功能率仪表仪的理想组合。

  • FOV(单镜头)> 3.4×2.8毫米
  • 收购时间7 S
  • 光学分辨率<177 nm
  • 系统噪声<1 nm

集成计量3D传感器

图片来源:感官计量学

紧凑的多功能性

S Mart提供了基本的测量多功能性,以处理不同的表面类型和地形。

借助Sensofar的3合1技术 - 通过专利的微型播放方法将三种测量技术集成到单个传感器头中 - 可以轻松地将系统切换到最合适的手头任务方法。这是一个小的,经济的和多功能的解决方案。

集成计量3D传感器

图片来源:感官计量学

物镜

表格1。资料来源:感官计量学

布莱特菲尔德 干涉法
放大 2.5倍 5倍 10倍 20倍 50x 100x 150x 5倍 10倍 20倍 50x 100x
NA 0.075 0.15 0.30 0.45 0.80 0.90 0.95 0.13 0.30 0.40 0.55 0.70
WD(MM) 6.5 23.5 17.5 4.5 1.0 1.0 0.2 9.3 7.4 4.7 3.4 2.0
FOV1(µm) 6800x5675 3400x2837 1700x1420 850x710 340x284 170x142 113x95 3400x2837 1700x1420 850x710 340x284 170x142
空间采样2(µm) 5.52 2.76 1.38 0.69 0.28 0.14 0.09 2.76 1.38 0.69 0.28 0.14
光学分辨率3(µm) 2.23 1.11 0.55 0.37 0.21 0.18 0.17 2.76 1.38 0.69 0.30 0.24
系统噪声(NM) 300 75 25 8 3 2 1 1
最大坡度5(º) 3 8 14 21 42 51 71 3 8 14 21 42

系统规格

表2。资料来源:感官计量学

测量原理 共聚焦,CSI和焦点变化
测量类型 图像,3D,3D厚度,轮廓和坐标
相机 1.2MPX:1232x1028像素(28 fps)
共聚焦帧速率 9,5 fps
垂直扫描范围 线性阶段:40毫米范围;2 nm分辨率
最大限度。Z测量范围 共聚焦36毫米;CSI 7毫米;焦点变化25毫米
LED光源 白色575 nm(默认,寿命40.000 h - 其他可用的选项)
鼻子 5位置完全电动
样品反射率 0.05%至100%
高级软件分析 Inc:Sensoview;OP:Sensopro,Sensomap
软件通信 DLL(C ++或C#,Windows 10®-64位)
XML(任何操作系统)
电脑 最新的英特尔处理器
操作系统 Microsoft Windows 10®,64位
电缆长度 10 m
环境 温度10ºC至35ºC;湿度<80%RH;高度<2000 m

12/3英寸相机和0.5倍光学元件的最大视野。2表面上的像素尺寸。3L&S:线和空间,根据雷利标准的衍射极限的一半。空间采样可能会限制干预目标的光学分辨率。白色LED的值。4系统噪声测量为垂直于光轴的校准镜的两个连续测量之间的差异。在VC-E振动环境中获得的值。5在光滑的表面上。在粗糙的表面上最多可达86°。其他目标可用。

方面

集成计量3D传感器

图片来源:感官计量学

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