S Onix是一个面积干涉仪，由于其惊人的速度和分辨率，非常适合工业环境。
- FOV（单镜头）> 5.0×3.8毫米
- 收购时间3 S
- 光学分辨率<190 nm
- 测量噪声<1 nm
图片来源：感官计量学
空前的速度
S Onix提供了高通量工业计量系统所需的速度。使用高速摄像头和改进的光学和机械设计，S Onix是最快的干涉测量系统。保持测量噪声的保留为增强振动的阻力。
图片来源：感官计量学
物镜
表格1。资料来源：感官计量学
|
干涉法 |
| 放大 |
2.5倍 |
5倍 |
10倍 |
20倍 |
50x |
100x |
| NA |
0.075 |
0.13 |
0.30 |
0.40 |
0.55 |
0.70 |
| WD（MM） |
10.3 |
9.3 |
7.4 |
4.7 |
3.4 |
2.0 |
| FOV1（µm） |
5040 x 3780 |
2520 x 1890 |
1260 x 945 |
630 x 472 |
252 x 189 |
126 x 94 |
| 空间采样2（µm） |
7.88 |
3.94 |
1.97 |
0.98 |
0.39 |
0.19 |
| 光学分辨率3（µm） |
7.62 |
3.81 |
1.91 |
0.95 |
0.38 |
0.23 |
| 垂直分辨率4（NM） |
1 |
| 最大坡度5（º） |
3 |
8 |
14 |
21 |
25 |
42 |
系统规格
表2。资料来源：感官计量学
| 。 |
。 |
| 测量原理 |
CSI |
| 测量类型 |
图像，3D和3D厚度 |
| 相机 |
640 x 480像素 |
| 垂直扫描范围 |
线性阶段：40毫米范围；2 nm分辨率 |
| 最大限度。Z测量范围 |
7毫米 |
| LED光源 |
白色（575 nm）和绿色（532 nm） |
| 鼻子 |
1位（默认）或6个手动位置（可选） |
| 样品反射率 |
0.05％至100％ |
| 高级软件分析 |
Inc：Sensoview;OP：Sensopro，Sensomap |
| 软件通信 |
DLL（C ++或C＃，Windows 10®-64位）
XML（任何操作系统） |
| 电脑 |
最新的英特尔处理器 |
| 操作系统 |
Microsoft Windows 10®，64位 |
| 电缆长度 |
5、15或20 m |
| 环境 |
温度10ºC至35ºC;湿度<80％RH；高度<2000 m |
1使用1/3英寸相机和0.375X光学元件的最大视野。2表面上的像素尺寸。3L＆S：线和空间，根据雷利标准的衍射极限的一半。绿色LED的值。空间采样可以限制光学分辨率。4测量噪声测量为垂直于光轴的校准镜的两个连续测量之间的差。在VC-E振动环境中获得的值。5在光滑的表面上。
方面
图片来源：感官计量学