蔡司横梁场发射扫描电子显微镜

用户可以结合高分辨率的成像和分析权力场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)处理能力的新一代显微镜聚焦离子束(FIB)。他们可能是在一个多用户的设备,一个学术和工业实验室,或完全不同的地方。

使用蔡司横梁的模块化平台概念扩大系统随着客户需求的变化,如大规模的LaserFIB材料烧蚀。横梁将加快FIB铣、成像和3 d分析应用程序。

• 最大化SEM的见解
• 增加FIB样品处理量
• 经验最好的3 d决议FIB-SEM分析

突出了

最大化SEM的见解

• 得到真正的样本使用双子座电子光学信息从高分辨率的扫描电镜照片
• 仔细描述的示例使用各种探测器。用户可以使用Inlens EsB探测器获取清洁材欧洲杯足球竞彩料的对比
• 调查非导体的标本没有受到充电构件的影响
• 使用蔡司横梁的2 d表面SEM能力,敏感的图像或三维断层
• 串联decel,新蔡司双子座电子光学的特性,可以提高SEM的决议在低电压高达30%
• 受益于高分辨率、对比度和信噪比率甚至在使用加速电压很低

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增加FIB样品处理量

• Ion-sculptor FIB列需要新方法FIB处理:通过阻止样品破坏,用户可以增加样本质量,同时完成研究更快
• 在准备TEM样品,利用的低电压功能Ion-sculptor FIB超薄样品小无定形化损伤
• 操纵与100 nA样本精确和快速电流而不影响FIB决议
• 利用先进的FIB扫描方法的材料去除加快速度和精度的研究上升到40%

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经验最好的3 d决议FIB-SEM分析

• 为了节省时间,在铣削收集连续切片图像。对于主动图像质量控制,使用可追踪的体素的大小和自动化算法实现精度和一致性
• 蔡司阿特拉斯5包市场领先的快速、精确的断层扫描,可以添加到横梁来提高产能
• 蔡司阿特拉斯5的集成的3 d分析工具允许用户EDS和EBSD分析断层扫描运行期间
• 最大的3 d最大分辨率和各向同性体素的大小FIB-SEM断层扫描给独特的见解。Inlens EsB探测器可以探测的深度小于3 nm和提供材料的对比图像表面敏感
• 利用集成的好处3 d分析EDS和EBSD考试
• 横梁将加快FIB铣、成像、三维分析和其他应用程序

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横梁的家庭

横梁350

执行原位研究脱气或收取样本使用变压模式和低真空操作。提供高质量的成像和高吞吐量的双子座电子光学和Ion-sculptor无伤大雅的谎言。

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横梁550

执行最准确的特征,选择最适合的样品室的大小,是否标准或大。双子座2电子光学提供优秀的解决方案即使在低电压、高电流。在高束电流,它是理想的高分辨率成像和快速分析。

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横梁激光

气闸的飞秒激光增强原位研究,防止室内污染,可以设置为横梁350或550,使它成为完美的工具大量材料烧蚀和彻底的样品制备。准备非常艰难的结构,如原子探针样品,或获得快速访问结构深埋地下。

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相关的低温工作流程

成像在母语状态是可能使用这个低温TEM薄板的生产解决方案和体积成像。宽视野的电子显微镜技术、激光扫描和集中离子束扫描电子显微镜都是联系在一起的。与此同时,保持多用FIB-SEM的适应性。

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蔡司横梁激光工作流

快速访问埋感兴趣的部分,运行工作流跨多个长度尺度有关,改善与大容量的样本representativity分析,做3 d成像和分析。受益于特定场地,超快的飞秒激光时样品制备添加到蔡司横梁。

• 受益于飞秒激光脉冲在一个监管的真空环境,造成最小伤害和热影响区
• 相关性与之前获得3 d x射线显微镜数据集或其他外部数据可以帮助用户找到感兴趣的深埋地下的区域(roi)
• 保持清洁的FIB-SEM主燃烧室和探测器通过激光工作的专业综合室
• 获得快速访问结构埋在内心深处
• 准备非常大截面宽度和深度的毫米

激光烧蚀执行设置步骤

• 把样品放在持有人,在主室FIB-SEM
• 在蔡司相关工作区、导入覆盖并使3 d或2 d光学显微镜的x射线数据图片,例如
• 确定ROI和获得一个参考图像

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寄存器扫描电镜和激光坐标

• 锁定样本和SEM坐标,与SEM扫描四个样品持有人基准点
• 将样品转移到集成的飞秒激光室(fs)
• 锁示例和坐标,激光扫描四个样品持有人和fs激光基准
• 扫描电镜和激光的坐标已经被匹配

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执行大量材料烧蚀

• 做一个激光模式
• 保持可见激光模式
• 快速删除大量的材料大于2μm定向精度

自顶向下SEM视图。图片来源:卡尔蔡司显微镜GmbH是一家

横截面扫描电镜的观点。图片来源:卡尔蔡司显微镜GmbH是一家

将样品转移到主FIB-SEM室继续FIB-SEM工作

• 详细的微观结构可能已经见过
• 波兰的FIB所需的高分辨率成像
• 有了新的程序,用户可以使TEM和原子探针样品
• 与即时SEM反馈,用户可以快速优化激光食谱

FIB-polished横截面扫描电镜的观点。图片来源:卡尔蔡司显微镜GmbH是一家

横截面,细节显示缺陷。图片来源:卡尔蔡司显微镜GmbH是一家

TEM薄层制备的工作流

导航到感兴趣的地区

几乎每个FIB-SEM用户准备TEM层数目。的准备,蔡司提供了一个自动化的工作流。结果薄片适合高分辨率透射电镜和干细胞成像和原子水平分析。

导航到标本的ROI,移除TEM薄板的ROI大块样品,散装机或海沟样本,根据需要完成过程与提升式和变薄。

导航到感兴趣的地区。图片来源:卡尔蔡司显微镜GmbH是一家

自动导航到标本的感兴趣的区域(ROI)

• 开始工作流不浪费时间找ROI
• 使用气闸的导航相机定位标本
• 它简单到ROI由于集成的用户界面
• 利用SEM的广泛的、免于扭曲的视野

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自动样品制备(ASP)准备一个薄板散装

• 开始遵循一个简单的三步过程:ASP
• 建立配方,应该包括漂移校正、沉积和粗磨、精磨
• FIB函数列的离子光学允许工作流的吞吐量
• 启动一批准备通过复制配方和重复

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提升

• 把薄片显微操纵器的尖端
• 把薄板从大量的材料
• 之后,薄板准备脱离TEM网格和运输

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薄:最后一步是至关重要的;它定义了TEM薄板的质量

• 乐器的架构允许实现所需的薄板厚度允许稀释过程的实时监控
• 一方面(SE探测器),同时使用两个探测器信号来评估薄板厚度和可重复的厚度;另一方面,使用并行两个探测器信号检查表面质量(Inlens SE检测器)
• 使高质量的样品与无定形化

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TEM薄板在低温条件下制备和体积成像

低温显微镜允许研究人员检查细胞结构在自然条件。用户,另一方面,面对一些障碍,包括样品制备、使不透明,冰污染、样品损失和相关成像模式。

宽视野、激光扫描和集中离子束扫描电子显微镜都结合在蔡司相关低温工作流在一个单一的、简单的操作。从荧光高分子识别高对比度体积为低温电子断层成像和上网层变薄,硬件和软件是针对相关低温过程的要求。

组件的蔡司低温辅助装备。图片来源:卡尔蔡司显微镜GmbH是一家

成像Near-to-Native状态

• 对于低温和环境温度的应用程序,它可以以多种方式使用
• 使不透明和冰污染预防为样本
• 荧光成像技术和高分辨率
• 低温过程无缝跨多个模式
• 低温TEM应用程序需要目标上网层变薄
• 卷与高对比度成像和三维重建

简化工作流程,帮助把重点放在研究上

用户征服挑战与蔡司混合几种成像技术在低温条件下低温相关的工作流。工作流解决方案使得体积成像和高效制造的TEM薄片连接光和电子显微镜。

专用配件简化工作流程,确保低温样品之间安全地传输显微镜。禅宗连接确保数据管理通过保持数据在整个工作流上下文。有几种处理工具,帮助用户改善图像结果。

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优越的组件给一流的数据质量

蔡司LSM系统允许用户确定蛋白质和细胞结构大分辨率使用cryo-compatible目标和Airyscan检测器的灵敏度高,而柔和的灯光和持续低温使不透明的样本。

蔡司的横梁FIB-SEM,用户可以获得高对比度容积成像即使不沾重金属材料。欧洲杯足球竞彩是否用户与TEM跟进调查,两种形式提供基本功能和结构信息,可以让研究人员全面掌握的超微结构。

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多用途的解决方案保持成像设备的生产率

与其他系统,工作流中使用的蔡司显微镜可以用于低温和常温下的应用程序,这是特别有用,当显微镜低温研究并没有被完全使用。

只需要几分钟将设备从低温、室温操作,而不需要技术知识。2020欧洲杯下注官网这种适应性允许用户花更多的时间来调查。更好的使用和更快的投资回报是成像设备的优势。

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蔡司横梁背后的技术

扫描电镜电子光学

两列之间做出选择

与其他蔡司FE-SEMs,蔡司的FE-SEM列大梁是基于双子电子光学。选择横梁350双子座VP列和横梁550的双子二列。

高分辨率成像是场发射扫描电镜的目标。场发射扫描电镜的电子光学列是其性能的关键。所有蔡司FE-SEMs和FIB-SEMs双子座技术,是专为特殊决议任何样本,特别是在低电压加速、完整和有效的检测和易用性。

双子座的光学特征是由三个主要组件

• 探头尺寸小,信噪比高被双子座梁保证增压技术,其中包括集成光束减速
• 通过检测二次(SE)和电子背散射(BSE)同时,双子座Inlens检测方法保证高效的信号检测,同时降低time-to-image
• 双子座物镜结合静电和磁场改善光学性能同时最小化样本的影响。这允许成像困难的样品如磁性材料欧洲杯足球竞彩

福利FIB-SEM应用程序

• 使用磁场附近自由光学,获得免于扭曲,甚至高分辨率成像在大片的观点
• 在不影响电光性能,倾斜的标本
• 扫描电镜对齐的长期稳定和易于修改系统参数包括探针电流和加速电压

蔡司横梁350:双子座列单电容器,两个Inlens探测器和副总裁的能力。图片来源:卡尔蔡司显微镜GmbH是一家

蔡司横梁550:双子二列双冷凝器和两个Inlens探测器。图片来源:卡尔蔡司显微镜GmbH是一家

横梁与双子座350我副总裁

• 实验中除气和收取样本原位
• Inlens EsB检测器与独特的双子座的物质
• 在多用途设置,最大样本的灵活性是必需的

横梁与双子二世550年

• 高分辨率图像和快速分析,用户可以用更少的时间获得更多的信息
• 同时Inlens SE和EsB成像,用户可能会得到一个独特的地形和材料的对比
• 双冷凝器技术提供了良好的解决即使在低电压、高电流

双子座新颖的光学

从表面敏感成像中获利

一般来说,今天的SEM应用程序需要着陆能量较低的高分辨率成像。这是要求:

• 样品对光线的敏感
• 欧洲杯足球竞彩材料不导电
• 获取实际样品表面信息,而无需从更深的样品层处理多余的背景资料

双子座光学设计低和极低的电压决议以及对比度增强。枪高分辨率模式和选择串联decel技术特性。

• 作为主要的能量宽度降低30%在枪高分辨率模式下,色差却降低了

串联decel,现在介绍蔡司横梁350/550,可用于两种不同的模式:

• 串联decel,两步减速方法,结合梁高的增压技术负偏压送到示例:初级电子束的电子减速,降低着陆能量
• 使用变量负偏压50到100 V的电压。可以提高图像的对比使用一个应用程序的模式
• 提高图像的分辨率低kV运用负偏压1 - 5 kV

串联decel可选样本偏置5 kV进一步提高了优秀的成像能力在低电压下工作。图片来源:卡尔蔡司显微镜GmbH是一家

FIB-SEM技术

发现一个无伤大雅的处理的新方法

Ion-sculptor FIB列加速FIB工作不牺牲加工质量,和用户可以使用它在任何样本由于其低电压性能。

Ion-sculptor,下一代聚焦离子束列蔡司横梁家族的,功能强大的电流高吞吐量和异常低压大样本的性能质量。

• 由于电子束电流高达100 nA,用户可以进行高通量测试
• 实现FIB的分辨率小于3海里,这是非凡的
• 减少无定形化标本稀释后,实现最好的结果
• 长期实验,横梁系列包括自动FIB发射恢复
• 利用Ion-sculptor FIB函数列的低电压能力提高样品质量
• 与快速探针电流交流,用户可能会加速FIB应用程序
• 获得准确和可重复的结果,同时保持最佳稳定性

蔡司横梁550双子二列及双冷凝器和两个Inlens探测器和一个FIB-column安排在一个54°倾角。图片来源:卡尔蔡司显微镜GmbH是一家

应用程序

材料科学欧洲杯线上买球

能源材料。欧洲杯足球竞彩锂离子电池,产品密钥以浆纱切片和三维断层和3 d分析描写₂O₄锂离子电池阴极材料。横截面的特写镜头显示表面Inlens SE图像的信息^一)。的分布(红色)和镧锰(绿色)来自一个EDS地图^B)。图片来源:卡尔蔡司显微镜GmbH是一家

工程材料。欧洲杯足球竞彩h bar薄板准备通过fs-laser半圆铜网格。左薄板400μm宽,215μm深,厚度约20μm顶部。它减少了激光在34秒。的材料需要被FIB最终变薄是显著降低。图片来源:卡尔蔡司显微镜GmbH是一家

工程材料。欧洲杯足球竞彩关键特性fs激光加工:数组压缩测试的药丸ars高熵合金,加工完全自动。图片来源:卡尔蔡司显微镜GmbH是一家

电子和半导体

3 d-nand - FIB-SEM断层。FIB-SEM断层扫描数据集获得从一个商业购买3 d NAND样本。样本de-packaged和机械抛光最上面的字线。数据采集是蔡司横梁550使用蔡司图集3 d。立体像素大小4×4×4海里³。左:3 d渲染完成的2×4×1.5µm³体积。中间:虚拟sub-volume 2×1.5×0.7µm³大小,从数据中提取的过渡区上层到下层。右:单一水平切片从体积,显示字线的自顶向下的视图。图片来源:卡尔蔡司显微镜GmbH是一家

电力电子,绝缘栅双极型晶体管。绝缘栅双极型晶体管(IGBT)设备分析。分析了完全在550年蔡司横梁。首先,FIB截面在栅电极被切断,揭露黑暗不规则分布的特性(上)。第二,薄板准备从左边的横截面的一部分,并通过30 kV STEM-in-SEM成像。brightfield干细胞图像所示显示功能晶体沉淀(底部)。第三,EDS元素映射层显示,沉淀的硅(右)。图片来源:卡尔蔡司显微镜GmbH是一家

3 d堆叠死互连。横梁激光器提供了快速,高质量的截面Cu-pillar microbumps 760µm深埋与总时间< 1小时的结果。左:3 d集成电路(IC)倒装芯片准备microbump成像与激光烧蚀和FIB抛光。右:25µm microbump直径与背散射电子图像获得。图片来源:卡尔蔡司显微镜GmbH是一家

生命科学欧洲杯线上买球

微生物学-锥虫属。超微结构调查的锥虫属寄生虫brucei。细胞高压冷冻和EPON freeze-substituted。800年收购z-sections对应在z ~ 8μm厚度;像素大小的x / y是5海里。示例礼节:美国沃恩,牛津布鲁克斯大学研究小组“锥细胞生物学”,英国。图片来源:卡尔蔡司显微镜GmbH是一家

配件

可视化和分析软件

蔡司建议从对象研究蜻蜓Pro系统(ORS)

先进的3 d数据分析和可视化软件使用x光等一系列方法,FIB-SEM、SEM和氦离子显微镜。

口服补液盐蜻蜓Pro是一个可访问的,完整的和可配置工具箱的显示和分析大型3 d灰度数据,只能通过蔡司。蜻蜓Pro提供了访问注释并创建媒体文件的3 d数据,包括视频制作。量化结果,使用图像处理、分割和对象分析。

锂离子电池。图片来源:卡尔蔡司显微镜GmbH是一家

引入ToF-SIMS使3 d高通量分析

分析微量元素,光元素(如锂)和同位素ToF-SIMS(飞行时间二次离子质谱)光谱仪连接横梁350或550横梁。受益于敏感和彻底的3 d评估。进行深度分析和元素的映射。

受益于原子和分子离子的同时检测到ppm水平,横向和深度分辨率超过35 nm和20 nm,分别。事后,检索ROI的任何信号。

西姆斯的工作原理。图片来源:卡尔蔡司显微镜GmbH是一家