CP-8000+使横截面抛光变得容易

Coxem的CP-8000+是一种复杂的样品制备工具,可帮助借助氩离子束蚀刻样品的横截面。该过程可防止结构损伤和身体变形,并且不需要难以执行的化学过程。

此外,该系统通过处理从数十到几毫米的大面积来简化样品的横截面分析。

应用

机械抛光(之前)。

机械抛光(之前)。图片来源:Coxem Co.,Ltd。

离子光束抛光(之后)

离子束抛光(之后)。图片来源:Coxem Co.,Ltd。

AR离子铣削系统。

AR离子铣削系统图片来源:Coxem Co.,Ltd。

聚焦离子束系统

聚焦离子束系统。图片来源:Coxem Co.,Ltd。

规格

资料来源:Coxem Co.,Ltd。

使用的气体 AR(氩气)气体
铣削速度 700μm/h(8 kV时的Si)
加速电压 2〜8 kV
梁直径 大约500μm
工作压力 4.3 x 10-5托尔
光束对齐 使用数字显微镜的精密光束对准
最大样本量 20(w)x 10(d)x 9(h)mm
样品移动范围 (z:±2 mm,y:±2 mm)
舞台秋千旋转 -35°〜 +35°
平板铣削的阶段 倾斜范围:40°至80°
旋转速度:6 rpm/min
样本尺寸:Ø30x 11.4mm
展示 触摸面板(1024 x 600 7英寸显示屏)
室内摄像头 放大:X5,X10,X20,X40
4步亮度控制
离子光束观察模式
用于样品对齐的数码相机 放大:X5,X10,X20,X40
USB类型
疏散系统 涡轮分子泵(66 L/s)
+隔膜泵
方面 610(w)x 472(d)x 415(h)mm

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