这HPD IQ3000是一个在4 K环境中的高精度完全自动化的探针站和200毫米底物。为了加速量子和超导计算机的商业化，该公司为芯片设计师提供了智能插入设计所需的工具。
IQ3000包括可配置的DC和RF电缆，以及自定义探针卡，以最大程度地测试配置灵活性。
具有集成磁屏蔽的高级设计可确保最敏感的超导设备的最稳定环境条件，从而确保最高质量的数据。由于完全自动化的晶圆加载和高级Velox软件套件，高吞吐量测试和无人值守的操作是可能的。
该系统结合了FormFactor的长期探索知识和高度准确的低温体验的多年，以将超导设备测试和测量从实验室移动到FAB。
应用程序包括超导芯片开发，量子计算和量子信息科学欧洲杯线上买球
图片来源：FRT计量学
图片来源：FRT计量学
主要特征
环境控制
- 磁场抑制至<200 nt
- 晶圆温度验证<4.5 K（接触44 rf探针）
- 准确的热稳定性和控制
- 晶圆温度高均匀性
- 带有花岗岩底座的固体结构可以精确运动和振动控制
灵活性
- 可配置为150毫米或200毫米晶片
- 轻松交换可定制的探测卡
- 最多520个直流线
- 最多56 RF同轴电缆（最多18 GHz）
自动化
- 完整的软件套件，用于手册，半自动或全自动探测
- 可用于完全自动化的晶圆负载或手册的选项
数据时间
- 〜每晶片15分钟的冷却时间
- 25晶圆盒全自动测试的容量
- 快速安定时间的刚性运动堆栈
- 高速运动阶段，用于快速死亡运动