Microvega™XMR系统提供高通量激光退火，用于生产整体磁性传感器。
Microvega™XMR是一种高度适应性的激光系统，用于产生磁性传感器，因为它可以促进巨型磁场耐药（GMR）和隧道磁阻（TMR）传感器，并且完全可定制用于磁取向，传感器位置和传感器尺寸。
Microvega™XMR通过使用直接点和可变激光能在每个传感器中选择性加热每个传感器中的固定层来“烙印”所需的磁取向。高温梯度可确保最小的热撞击，而配方可以调整磁场强度和方向。
这有助于制造较小的传感器，释放空间以处理每个晶圆的更多设备，并允许传感器在旁边读出电子设备旁边处理，并将其关闭。
强调
- 无需消耗品或产品特定零件
- 柔性食谱编程和广泛的参数，例如脉冲能，传感器尺寸，传感器距离，磁性和磁通量
- 磁场方向的准确性（方向）：±0.010°
- 工具精度：±5μm
- 极高的能量均匀性提高了传感器的质量
- 可容纳最多300毫米的晶圆尺寸
- GMR和TMR传感器的单个平台
- 高通量
Microvega XMR激光退火系统，用于GMR和TMR传感器形成。图片来源：3D-Micromac AG
Microvega XMR内部用于GMR和TMR传感器形成的激光退火。图片来源：3D-Micromac AG
Microvega XMR激光退火系统，用于GMR和TMR传感器形成。图片来源：3D-Micromac AG
选项包括：
- SEC/宝石界面
- 自动晶圆处理
- 第二激光源的多波长和脉冲长度的可能性
Microvega™XMR-用于整体磁性传感器的选择性激光退火溶液
视频来源：3D-Micromac AG